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Verification of ion implantation method using intense pulsed heavy ion beam for next generation semiconductor

Verification of ion implantation method using intense pulsed heavy ion beam for next generation semiconductor
使用强脉冲重离子束的离子注入方法验证下一代半导体
批准号：
24540534
负责人：
ITO Hiroaki
金额：
$3.16万
依托单位：
University of Toyama
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24540534/
关键词：
パルス重イオンビーム両極性パルスパルスイオン注入レーザーイオン源パルス電力技術プラズマガンパルス電力応用両極性パルス加速器真空アークプラズマガン細線放電イオン源パルスパワー技術

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二重同軸ガラス管構造を用いた大気圧プラズマジェットの特性評価
采用双同轴玻璃管结构表征大气压等离子体射流
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [大山耕平, 中山智裕, 大橋隼人, 伊藤弘昭]
通讯作者： 伊藤弘昭
Characteristics of Underwater Shock Wave Generated by High Current Short Pulse Discharge
大电流短脉冲放电水下冲击波特性
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [H.Ito, K.Miyata]
通讯作者： K.Miyata
研究室ホームページ
实验室主页
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
両極性パルス加速器によるパルス重イオンビーム発生とその特性
双极脉冲加速器产生脉冲重离子束及其特性
DOI： --
发表时间： 2015
期刊： 電気学会論文誌A
影响因子： --
作者： [谷岡裕大, 壷井基裕, 伊藤弘昭,北島一樹]
通讯作者： 伊藤弘昭,北島一樹
共 9 条
    Establishment of evaluation technique for thermo-viscoelastic property of glass using viscosity measurement
    • 批准号：
      18K03856
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.25万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      ITO Hiroaki
    • 依托单位：
      Kindai University
    Contactless Pulsed Power Transfer System using Pulsed Power Technology for Running Electric Vehicle
    • 批准号：
      16K14211
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.08万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      ITO Hiroaki
    • 依托单位：
      University of Toyama
    Development of bipolar pulse accelerator by using pulsed power technology and creation of inovative pulsed ion implatation
    • 批准号：
      15H03961
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.73万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      ITO Hiroaki
    • 依托单位：
      University of Toyama
    Evaluation of adhesion quality and durability of die mold releasing agent for glass press molding at high temperature