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Formation technology development of high quality Ge/Si heterostructures using hydrogen radical

Formation technology development of high quality Ge/Si heterostructures using hydrogen radical
利用氢自由基形成高质量Ge/Si异质结构的技术开发
批准号：
25390065
负责人：
NAKAGAWA Kiyokazu
金额：
$3.33万
依托单位：
University of Yamanashi
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25390065/
关键词：
GeSiヘテロ構造ラジカル水素加熱GeチャネルFETGe/Siヘテロ構造Ge/Si基板ヘテロ構造水素ラジカル加熱

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WO3の形成と抵抗変化メモリへの応用
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DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [Filzah Binti Zainal Arif, 松本紘希, 木村宗弘, 赤羽正志, 高木翔太，池田礼隆，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，中川清和，高松利行]
通讯作者： 高木翔太，池田礼隆，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，中川清和，高松利行
Si-ULSI用の電極形成のための熱処理技術の開発
Si-ULSI电极形成热处理技术的开发
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [上村 和貴, 中家 大希, 荒井 哲司, 山本 千綾, 有元 圭介, 山中 淳二, 中川 清和, 高松 利行]
通讯作者： 高松 利行
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氢自由基选择性加热过渡金属形成多晶硅薄膜及器件工艺应用
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [中家大希，上村和貴，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，佐藤哲也，中川清和，高松利行，澤野憲太郎]
通讯作者： 中家大希，上村和貴，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，佐藤哲也，中川清和，高松利行，澤野憲太郎
SiF4凝縮層の低速電子線誘起反応と水素原子のトンネル反応を利用したa-SiNxの極低温合成
利用SiF4凝聚层中的慢电子束诱导反应和氢原子的隧道反应低温合成a-SiNx
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [坂巻 直, 佐藤 哲也, 中川 清和]
通讯作者： 中川 清和
共 19 条
    Development of selective heating method using microwave plasmaexcited species
    • 批准号：
      22560007
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      NAKAGAWA Kiyokazu
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    Selective and rapid heating method for polycrystallization of amorphous Si using microwave plasma irradiation
    • 批准号：
      18560007
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.35万
    • 财政年份：
      2006
    • 负责人：
      NAKAGAWA Kiyokazu
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    Formation of virtual substrates for strained SiGe heterostructures and its application to high mobility FETs
    • 批准号：
      13650007
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.05万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      NAKAGAWA Kiyokazu
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    The singular perturbation problem for a diffusion-advection equation
    • 批准号：
      09640216
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.66万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      NAKAGAWA Kiyokazu
    • 依托单位：
      Tohoku Gakuin University