High speed fabrication of large-area microcrystalline silicon films using VHF plasma with an under-expanded supersonic jet

使用 VHF 等离子体和欠膨胀超音速射流高速制造大面积微晶硅薄膜

• 批准号: 25390108
• 负责人: MUTA Hiroshi
• 金额: $ 3.33万
• 依托单位: Kinki University (2015)Gifu University (2013-2014)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25390108/
• 关键词: VHFプラズマ; 超音速噴流; 高速製膜; クラスター; マルチホローカソード; シランプラズマ; クラスタ-; 高次シラン; クラスタ; プラズマパラメータ; 大面積一様化

项目成果

バラン給電型SiH4/H2リモートプラズマにおけるイオン衝撃エネルギー測定と評価

平衡-不平衡变换器馈电 SiH4/H2 远程等离子体中的离子撞击能量测量和评估

• 作者: 千藤彰大，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;三和寛之，西田哲，牟田浩司，野々村修一，栗林志頭眞;岡田俊，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
• 通讯作者: 滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞

太陽電池のテクスチャ構造の形状による電流漏れの変化の評価

评估根据太阳能电池纹理结构形状的漏电流变化

• 发表时间: 2014
• 作者: 千藤彰大，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞
• 通讯作者: 兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞

大面積VHFプラズマ中の定在波測定

大面积 VHF 等离子体中的驻波测量

• 作者: 千藤彰大，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;三和寛之，西田哲，牟田浩司，野々村修一，栗林志頭眞;岡田俊，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;廣井将平，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞
• 通讯作者: 廣井将平，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞

非平衡プラズマジェットCVDに於けるガス流速がSi成膜品質に及ぼす影響の考察

非平衡等离子体射流CVD中气体流量对Si膜成膜质量影响的思考

• 作者: 千藤彰大，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;兼松雅斗，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞;三和寛之，西田哲，牟田浩司，野々村修一，栗林志頭眞;岡田俊，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;滝下裕基，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;廣井将平，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞;井関将仁，西田 哲，牟田浩司，栗林志頭眞
• 通讯作者: 井関将仁，西田 哲，牟田浩司，栗林志頭眞

高速噴流を利用したプラズマCVDの新規高速製膜手法

使用高速射流的等离子体 CVD 的新型高速薄膜沉积方法

• 发表时间: 2015
• 期刊: ながれ（日本流体力学会誌）
• 作者: 西田哲;納土亮;牟田浩司;栗林志頭眞
• 通讯作者: 栗林志頭眞