多点法加工平面形状测量装置的研制-猫眼课题宝

多点法加工平面形状测量装置的研制

批准号：

25420057

负责人：

Shimizu Hiroki

金额：

$3.33万

依托单位：

Kyushu Institute of Technology

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

财政年份：

2013

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2013-04-01 至 2016-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25420057/

关键词：

形状測定平面度真直度 MEMS 多点法走査形状測定運動誤差計測平面度測定真直度測定

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应用MEMS技术的多点扫描形状测量用多悬臂梁的开发（第4次报告） - 抑制表面粗糙度的探针制作方法 -

DOI： --

发表时间： 2014

期刊：

影响因子： --

作者：

[殘華智仁, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児]

通讯作者：坂本憲児

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）―測定原理の検討と基礎的検証―

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DOI： --

发表时间： 2014

期刊：

影响因子： --

作者：

[藤田豊栄, 清水浩貴, 田丸雄摩]

通讯作者：田丸雄摩

Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors

三悬臂位移传感器扫描轮廓测量MEMS装置的设计

DOI： --

发表时间： 2015

期刊：

影响因子： --

作者：

[M.Jin, T.Iizuka, 神雅彦，飯塚卓也, 神雅彦, 神雅彦，吉川研一, 神　雅彦，中立　亘，金井　秀生，小玉　満, 神　雅彦，中立　亘，金井　秀生，小玉　満, 林　正弘，神　雅彦, 鬼鞍宏猷，神雅彦, 山下亮祐, Hiroki Shimizu, Hiroki Shimizu]

通讯作者： Hiroki Shimizu

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）-長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討-

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DOI： --

发表时间： 2015

期刊：

影响因子： --

作者：

[夘田将太, 清水浩貴, 田丸雄摩]

通讯作者：田丸雄摩

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DOI： --

发表时间： 2015

期刊：

影响因子： --

作者：

[M.Jin, T.Iizuka, 神雅彦，飯塚卓也, 神雅彦, 神雅彦，吉川研一, 神　雅彦，中立　亘，金井　秀生，小玉　満, 神　雅彦，中立　亘，金井　秀生，小玉　満, 林　正弘，神　雅彦, 鬼鞍宏猷，神雅彦, 山下亮祐, Hiroki Shimizu, Hiroki Shimizu, 清水浩貴]

通讯作者：清水浩貴