Establishment of nano metal pattern transfer technique using roll nanoimprint method

利用辊式纳米压印法建立纳米金属图案转印技术

• 批准号: 25420067
• 负责人: Taniguchi Jun
• 金额: $ 3.16万
• 依托单位: Tokyo University of Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25420067/
• 关键词: ナノインプリント; 銀インク; 光硬化性樹脂; ロール技術; 金型; レプリカモールド; 離型性; 積層構造; ロールナノインプリント; 金属転写; モスアイ構造; ナノ配線; 反射防止構造; プラズモン

项目成果

Fabrication of antireflection structure film by roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography

• DOI: 10.1116/1.4901877
• 发表时间: 2014-11-01
• 期刊: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
• 影响因子: 1.4
• 作者: Moro, Masatoshi;Taniguchi, Jun;Hiwasa, Shin
• 通讯作者: Hiwasa, Shin

Fabrication of isolated metal dot pattern in hole features using roll to roll machine and silver ink

使用卷对卷机器和银墨在孔特征中制造孤立的金属点图案

• 发表时间: 2015
• 作者: Kai Ojima;Noriyuki Unno;Jun Taniguchi
• 通讯作者: Jun Taniguchi

Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press

使用液体转移压印光刻和辊压机堆叠纳米级金属点阵列

• DOI: 10.1016/j.mee.2015.02.008
• 发表时间: 2015
• 期刊: Microelectronic Engineering
• 影响因子: 2.3
• 作者: Takahiro Tsuji;Jun Taniguchi
• 通讯作者: Jun Taniguchi

Removal of residual layer by liquid transfer imprint lithography using roll-to-roll UV-NIL

• DOI: 10.1016/j.mee.2015.01.040
• 发表时间: 2015-06-15
• 期刊: MICROELECTRONIC ENGINEERING
• 影响因子: 2.3
• 作者: Moro, Masatoshi;Taniguchi, Jun
• 通讯作者: Taniguchi, Jun

Fabrication of self-supporting antireflection-structured film by UV-NIL

• DOI: 10.1016/j.mee.2013.03.041
• 发表时间: 2013-10-01
• 期刊: MICROELECTRONIC ENGINEERING
• 影响因子: 2.3
• 作者: Abu Talip, Nurhafizah Binti;Taniguchi, Jun
• 通讯作者: Taniguchi, Jun