Establishment of nano metal pattern transfer technique using roll nanoimprint method
Establishment of nano metal pattern transfer technique using roll nanoimprint method
利用辊式纳米压印法建立纳米金属图案转印技术
批准号：
25420067
负责人：
Taniguchi Jun
金额：
$3.16万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
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DOI：
10.1116/1.4901877
发表时间：
2014-11-01
期刊：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
影响因子：
1.4
作者：
[Moro, Masatoshi, Taniguchi, Jun, Hiwasa, Shin]
通讯作者：
Hiwasa, Shin
Fabrication of isolated metal dot pattern in hole features using roll to roll machine and silver ink
使用卷对卷机器和银墨在孔特征中制造孤立的金属点图案
使用卷对卷机器和银墨在孔特征中制造孤立的金属点图案
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kai Ojima, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi]
通讯作者：
Jun Taniguchi
Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press
使用液体转移压印光刻和辊压机堆叠纳米级金属点阵列
使用液体转移压印光刻和辊压机堆叠纳米级金属点阵列
DOI：
10.1016/j.mee.2015.02.008
发表时间：
2015
期刊：
Microelectronic Engineering
影响因子：
2.3
作者：
[Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi]
通讯作者：
Jun Taniguchi
DOI：
10.1016/j.mee.2015.01.040
发表时间：
2015-06-15
期刊：
MICROELECTRONIC ENGINEERING
影响因子：
2.3
作者：
[Moro, Masatoshi, Taniguchi, Jun]
通讯作者：
Taniguchi, Jun
DOI：
10.1016/j.mee.2013.03.041
发表时间：
2013-10-01
期刊：
MICROELECTRONIC ENGINEERING
影响因子：
2.3
作者：
[Abu Talip, Nurhafizah Binti, Taniguchi, Jun]
通讯作者：
Taniguchi, Jun
共 8 条
Development of high throughput metal nano patterns stacking method
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批准号：17K06091
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.83万
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财政年份：2017
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负责人：Taniguchi Jun
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依托单位：