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Ultrasonic assistent lapping fot the manufacture of complex and high surface quality microstructures on brittle materials

超声波辅助研磨用于在脆性材料上制造复杂且高表面质量的微结构

基本信息

批准号：
5426722
负责人：
Professor Dr.-Ing. Ekkard Brinksmeier
金额：
--
依托单位：
Fachgebiet Fertigungsverfahren
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2007-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5426722?language=en
关键词：
Ultrasonic assistent lapping fot manufacture

项目摘要

Die wissenschaftlichen Ziele dieses Projekts sind die Prozessanalyse und -bewertung sowie die Verfahrensverbesserung des ultraschall-unterstützten (US) Mikroläppens im Hinblick auf den werkstoffspezifischen Abtragsmechanismus, den Werkzeugverschleiß und die Oberflächenqualität bzw. -schädigung bei der Fertigung von Mikrostrukturen in spröden Werkstoffen wie Silizium, Glas und Keramik. Für die Verschleißreduzierung sollen diamantbeschichtete Mikrowerkzeuge entwickelt und die Prozessstabilität durch eine kontinuierliche emissionsschall-basierte Prozesssteuerung verbessert werden. Zur Verbesserung der Oberflächenqualität ist die Verfeinerung des Abtragsmechanismuses und der Einsatz chemischer Effekte vorgesehen. Das verbesserte Verfahren wird dann für die Fertigung verschiedener Mikrostrukturen eingesetzt, um die Möglichkeiten und Grenzen des US-Mikroläppens für die Erzeugung von 2D- und 3D-Strukturen zu bestimmen. Die Untersuchungsergebnisse werden die notwendigen Kenntnisse und das Verständnis für das angestrebte US-Mikroläppverfahren bereitstellen sowie ein leistungsgesteigertes Prototypenwerkzeug für vielseitige Anwendungen.

Ziele项目的科学分析和改进是Hinblick的超声波（US）Mikroläppens基于工作特性的Abtragsmechanismus、Werkzeugverschleismund和Oberflächenqualität bzw的测试方法。-schädigung bei der Fertigung von Mikrostrukturen in spröden Werkstoffen wie Silizium，Glas und Keramik。Für die Verschleißreduzierung sollen diamantbeschichtete Mikrowerkzeuge entwickelt und die Prozessstabilität durch eine kontinuierliche emissionssall-basierte Prozesssteuerung verbessert韦尔登. Zur Verbesserung der Oberflächenqualität is die Verfeinerung des Abtragsmechanismuses und der Einquilt-chemischer Effekte vorgesehen. Das verbesserte Verfahren wird dann für die Fertigung versedener Mikrostrukturen eingesetzt，um die Möglichkeiten und Grenzen des US-Mikroläppens für die Erzeugung von 2D- und 3D-Strukturen zu bestimmen. Die Untersuchungsergebnisse韦尔登die notendigen Kenntnisse und das Verständnis für das angestrebte US-Mikroläppverfahren bereitstellen sowie ein leistungsgesteigertes Prototypenwerkzeug für vielseitige Anwendungen.