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Dopant diffusion paths in polycrystalline silicon gate of three-dimensional metal-oxide-semiconductor field effect transistor investigated by atom probe tomography

Dopant diffusion paths in polycrystalline silicon gate of three-dimensional metal-oxide-semiconductor field effect transistor investigated by atom probe tomography
原子探针断层扫描研究三维金属氧化物半导体场效应晶体管多晶硅栅极中的掺杂扩散路径
批准号：
26289097
负责人：
Inoue Koji
金额：
$10.32万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26289097/
关键词：
アトムプローブ粒界拡散ドーパントマイクロ・ナノデバイス拡散

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Elemental Distribution Analysis in Silicon-Based Semiconductor Devices
硅基半导体器件中的元素分布分析
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [岡本 隼人, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛, K. Tada, K. Inoue]
通讯作者： K. Inoue
3D atomic-scale-analysis of elemental distribution in silicon nanoelectronics
硅纳米电子学中元素分布的 3D 原子尺度分析
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Nakamura, Z. Yuan, S. Hashimoto, S. Adachi, Y. Shimizu and K. Inoue]
通讯作者： Y. Shimizu and K. Inoue
Impact of carbon co-implantation on boron distribution and activation in silicon studied by atom probe tomography and spreading resistance measurements
通过原子探针断层扫描和扩散电阻测量研究碳共注入对硅中硼分布和活化的影响
DOI： 10.7567/jjap.55.026501
发表时间： 2016
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [Y. Shimizu, H. Takamizawa, K. Inoue, F. Yano, S. Kudo, A. Nishida, T. Toyama, and Y. Nagai]
通讯作者： and Y. Nagai
Predoping effects of boron and phosphorous on arsenic diffusion along grain boundaries in polycrystalline silicon investigated by atom probe tomography
原子探针断层扫描研究硼和磷的预掺杂对多晶硅中砷沿晶界扩散的影响
DOI： 10.7567/apex.9.106601
发表时间： 2016
期刊： Applied Physics Express
影响因子： 2.3
作者： [H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nozawa, T. Toyama, F. Yano, M. Inoue, A. Nishida, Y. Nagai]
通讯作者： Y. Nagai
共 12 条
    A turn-taking system linked with dialogue understanding and utterance generation
    • 批准号：
      20K19821
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
    • 资助金额：
      $2.08万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Inoue Koji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Over 100 GHz Time-Space Superconductor Computing for Post-Moore Era
    • 批准号：
      19H01105
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $28.79万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Inoue Koji
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Exploring the effects of microplastics drifting in the ocean on living organisms through multi-omics analyses of mussels
    • 批准号：
      18H02261
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.9万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Inoue Koji
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Cyber Security with Physical Characteristics
    • 批准号：
      17K19984
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $4.08万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Inoue Koji
    • 依托单位：
      Kyushu University
    海外基金