Generation and annihilation mechanisms of plasma-induced defects on semiconductor surface
Generation and annihilation mechanisms of plasma-induced defects on semiconductor surface
批准号:
15K04717
负责人:
Nunomura Shota
金额:
$3.24万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2015
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2015-04-01 至 2018-03-31
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Science and Technology of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for High-Efficiency Silicon Solar Cells: Introduction
高效硅太阳能电池等离子体增强化学气相沉积科学与技术:简介
DOI:
--
发表时间:
2015
期刊:
J. Plasma Fusion Res.
影响因子:
--
作者:
[S. Nunomura, I. Sakata, K. Matsubara, S. Nunomura]
通讯作者:
S. Nunomura
EFFECTS OF CARRIER TRAPPING ON SOLAR CELL PERFORMANCES
载流子捕获对太阳能电池性能的影响
DOI:
--
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Shota Nunomura, Isao Sakata, and Koji Matsubara]
通讯作者:
and Koji Matsubara
シリコン PECVD 中の膜評価
硅 PECVD 期间的薄膜评估
DOI:
--
发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
--
作者:
[S. Nunomura, I. Sakata, K. Matsubara, S. Nunomura, S. Nunomura, 布村正太]
通讯作者:
布村正太
Optoelectronic properties of a-Si:H passivation layer for high-efficiency silicon heterojunction solar cells
高效硅异质结太阳能电池a-Si:H钝化层的光电特性
DOI:
--
发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Shota Nunomura, Isao Sakata, and Koji Matsubara]
通讯作者:
and Koji Matsubara
Experimental and simulation study on hydrogen atom kinetics in low-pressure capacitively coupled plasmas
低压电容耦合等离子体中氢原子动力学实验与模拟研究
DOI:
--
发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Shota Nunomura, Hirotaka Katayama and Isao Yoshida]
通讯作者:
Hirotaka Katayama and Isao Yoshida
共 26 条
Hydrogen-mediated defect passivation of semiconductor materials during plasma processing
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批准号:18K03603
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额:$2.83万
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财政年份:2018
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负责人:Nunomura Shota
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依托单位:
海外基金