Development of alternate pumping microreactors for mass processing

开发用于大规模处理的交替泵送微反应器

基本信息

  • 批准号:
    15K05810
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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FORMATION METHOD FOR SU-8 FILM WITH UNIFORM THICKNESS OF 400 MICROMETERS
400微米均匀厚度的SU-8薄膜的形成方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Tamio Fujiwara;Hiroshi Ohue;Haruyuki Kinoshita;Teruo Fujii
  • 通讯作者:
    Teruo Fujii
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Fujiwara Tamio其他文献

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  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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