Development of alternate pumping microreactors for mass processing
开发用于大规模处理的交替泵送微反应器
基本信息
- 批准号:15K05810
- 负责人:
- 金额:$ 3万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2015
- 资助国家:日本
- 起止时间:2015-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
FORMATION METHOD FOR SU-8 FILM WITH UNIFORM THICKNESS OF 400 MICROMETERS
400微米均匀厚度的SU-8薄膜的形成方法
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Tamio Fujiwara;Hiroshi Ohue;Haruyuki Kinoshita;Teruo Fujii
- 通讯作者:Teruo Fujii
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相似国自然基金
Nano/Micro-surface pattern的摩擦特性研究
- 批准号:50765008
- 批准年份:2007
- 资助金额:22.0 万元
- 项目类别:地区科学基金项目
相似海外基金
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19K04132 - 财政年份:2019
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CAREER: Large Scale Manufacturing of Metasurfaces Using Microsphere Photolithography
职业:使用微球光刻大规模制造超表面
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1653792 - 财政年份:2017
- 资助金额:
$ 3万 - 项目类别:
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- 批准号:
17K00623 - 财政年份:2017
- 资助金额:
$ 3万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)