Strukturbildung und Stickstoffeinbau in Oxidnitriden

氮氧化物中的结构形成和氮掺入

• 批准号: 5434871
• 负责人: Professor Dr. Matthias Wuttig
• 金额: --
• 依托单位: I. Physikalisches Institut A - Physik neuer Materialien
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5434871?language=en
• 关键词: Strukturbildung; und; Stickstoffeinbau; Oxidnitriden

Das reaktive DC-Magnetron-Sputtern erlaubt die gezielte Substitution von Sauerstoffanionen durch Stickstoffionen bei niedrigen Substrattemperaturen. Dabei führt der Einbau selbst von kleinen Konzentrationen von Stickstoff in das Oxidgitter zu überraschend großen Eigenschaftsveränderungen wie einer klaren Abnahme der Bandlücke und einer deutlichen Zunahme der kristallinen Struktur sowie des Brechungsindexes. Daher haben wir zunächst geklärt, warum der Einbau von Stickstoff in die Oxide schwierig ist. Dabei stellt sich heraus, dass die Schichten sogar mehr Stickstoff enthalten, als die Thermodynamik voraussagt. Offensichtlich spielt die Wachstumskinetik bei der Bildung von Oxidnitriden eine entscheidende Rolle. Die Stickstoffkonzentration und andere wichtige Parameter können in einem von uns entwickelten Modell beschrieben werden, das sowohl energetische als auch kinetische Aspekte integriert und so das Wachstum der Schichten durch einige wenige freie Parameter simuliert. Allerdings ist die Benutzung freier Fitparameter unbefriedigend. Das Projekt soll daher die atomaren Mechanismen des Stickstoffeinbaus aufklären und mithelfen die relevanten Fitgrößen experimentell zu bestimmen. Zudem soll der Einfluss der Stickstoffatome auf die Strukturbildung identifiziert werden. Dazu sollen Experimente durchgeführt werden, die ein mikroskopisches Bild von Schichtzusammensetzung und Strukturbildung liefern.

反应性DC-磁控管-溅射通过Niedrigen Substrattemperaturen的Stickstofionen实现了Sauerstoffanionen的gezielte替代。Dabei führt der Einbau selbst von kleinen Konzentrationen von Stickstoff in das Oxidgitter zu überraschend großen Eigenschaftsveränderungen wie einer klaren Abnahme der Bandlücke und einer deutlichen Zunahme der kristallinen Struktur sowie des Brechungsindexes.我们已经很清楚了，因为在氧化物中的粘性物质的结构是不稳定的。大北告诉我，这个小东西很容易粘上梅尔，因为它的热力学特性很好。在氮氧化物的培养过程中，水的动力学是一个不可忽视的角色。在一个由韦尔登组成的模型中，粘性材料的集中度和重要的参数是已知的，这些能量也是动力学方面的积分，因此，通过一个自由的参数模拟，这些粘性材料的重量也是如此。所有这些都是不友好的健康参数。该项目将使胶粘剂的原子能机构得到改进，并使相关的Fitgrößen实验得到改进。因此，粘性材料对韦尔登结构的识别有影响。我们必须进行韦尔登，制作一张来自Schichtzusammensetzung和Strukturbildung liefern的微型图片。