Grundlagenuntersuchung zur Wirkungsweise von Einflüssen auf das Messergebnis in der Mikro- und Nanoprüftechnik (Weiterförderung des Projekts "Modellierung für die praxisgerechte Messunsicherheitsermittlung in der Mikro- und Nanoprüftechnik")

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Die Messunsicherheitsangabe ist unverzichtbarer Teil eines vollständigen Messergebnisses. Zu ihrer Ermittlung muss, basierend auf GUM (engl.:Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement), die Auswertung des zugrunde gelegten Messprozesses mit allen wirkenden Einflüssen modelliert, die Standardunsicherheiten ermittelt und daraus die erweiterte Messunsicherheit errechnet werden. Gerade bei den Messprozessen der Mikro- und Nanotechnik fehlen Erkenntnisse, in welcher Art Einflüsse auf das Messergebnis wirken und zur Messunsicherheit beitragen. Ziel des Projektes ist das Gewinnen von Erkenntnissen zur Wirkungsweise von solchen Einflüssen bei der Erfassung von dimensionellen Messgrößen im Mikro- und Nanometerbereich, sowie das Definieren einer praxisgerechten, strukturierten, universellen Vorgehensweise für das Erstellen von Modulen zur Aufstellung des Modells der Auswertung unter einbeziehen vielfältiger messprozessspezifischer Einflüsse. Solche Module können in ein Rahmensystem eingebracht werden, welches das Unsicherheitsbudget, die kombinierte Standardunsicherheit, sowie die erweiterte Messunsicherheit ermittelt. Die gewonnenen Erkenntnisse, die Richtigkeit der Annahmen und die Tragfähigkeit der Ergebnisse werden an praktischen Anwendungen aus der optischen- und der Rastersondenmesstechnik demonstriert. Die Ergebnisdarstellung erfolgt dergestalt, dass darauf orts- und plattformunabhängig zugegriffen werden kann.