Modellierung kohärenter Streulicht-Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte im Mikrometerbereich
对微米范围内的确定性纳米结构和随机表面缺陷的相干散射光测量过程进行建模
基本信息
- 批准号:5436149
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Priority Programmes
- 财政年份:2004
- 资助国家:德国
- 起止时间:2003-12-31 至 2010-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Laser-optische Streulicht-Messverfahren charakterisieren stochastisch raue Oberflächen im Bereich von Ra = 1 nm bis Ra = 5.000 nm. Oberflächendefekte, periodische Strukturen und große Aspektverhältnisse (Leiterbahnen, Gräben, Einschnitte, etc.) beeinflussen die Streulichtverteilung. Insbesondere im Fall von Mikrobauteilen sind die zu charakterisierenden Oberflächen-Areale oft kleiner als das Gesichtsfeld bisher realisierter Streulicht-Messsysteme und typischerweise nanostrukturiert. Eine Charakterisierung mit konventioneller Bildauswertung der Streulichtverteilung ist in solchen Fällen nicht mehr möglich. Dennoch enthält jede Beugungs- und Streulichtverteilung generell alle Informationen über die zugehörige Oberflächen-Topografie, so dass neue Auswerte-Algorithmen entworfen werden sollen. Das Ziel dieses Projekts besteht darin, speziell im Sub-Wellenlängenbereich (1 nm 300 nm) durch Modellbetrachtungen analytische Zusammenhänge zwischen charakteristischen Streulicht-Effekten und Topografie-Merkmalen für Mikrosysteme und Nanostrukturen herzustellen. Hierzu werden geeignete virtuelle Oberflächen- und Streulicht-Modelle sowie Auswerte-Algorithmen zur Simulation von Messabläufen entwickelt und miteinander kombiniert. Die Forschungsergebnisse bilden die Grundlage, um Mikrobauteile mit Strukturen im Nanometerbereich später fertigungsgerecht prüfen zu können, d.h. flächenhaft, berührungslos und hinreichend schnell, so dass eine Reaktion z.B. bei der Überwachung von laufenden Fertigungsprozessen (Echtzeitfähigkeit des Messsystems) möglich ist.
Laser-optische Streulicht-Messverfahren charakterisieren stochastisch raue Oberflächen im Bereich von Ra = 1 nm bis Ra = 5.000 nm. Oberflächendefekte,periodische Strukturen und große Aspektverhältnisse(Leiterbahnen,Gräben,Einschnitte,etc.)影响了这一点。在Mikrobauteilen的秋天,小块表面的特征是Gesichtsfeld更真实的Streulicht-Messysteme和典型的纳米结构。一个具有传统的艺术风格的特点在所有的秋天里都没有梅尔。Dennoch热衷于将Beugungs- und Streulichtverteilung generell alle Informationen über die zugehörige Oberflächen-Topografie,so dass neue Auswerte-Eschemen entworfen韦尔登sollen. Das Ziel dieses Projekts besteht darin,speziell im Sub-Wellenlängenbereich(1 nm 300 nm)durch Modellbetrachtungen analytische Zusammenhänge zwischen charakteristischen Streulicht-Effekten und Topografie-Merkmalen für Mikrosysteme und Nanostrukturen herzustellen. Hierzu韦尔登geeignete virtuelle Oberflächen- und Streulicht-Modelle sowie Auswerte-toilmen zur Simulation von Messabläufen entwickelt und miteinander kombiniert.研究结果显示,在纳米尺度上具有结构的微结构可以产生更大的颗粒,d.h.这是一个简单的反应。bei der Überwachung von laufenden Fertigungsprozessen(Echtzeitfähigkeit des Messsystems)möglich ist.
项目成果
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数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
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