Modellierung kohärenter Streulicht-Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte im Mikrometerbereich

对微米范围内的确定性纳米结构和随机表面缺陷的相干散射光测量过程进行建模

• 批准号: 5436149
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Gert Goch
• 金额: --
• 依托单位: Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft (BIMAQ)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2010-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436149?language=en
• 关键词: Modellierung; koh; renter; Streulicht; Messprozesse

Laser-optische Streulicht-Messverfahren charakterisieren stochastisch raue Oberflächen im Bereich von Ra = 1 nm bis Ra = 5.000 nm. Oberflächendefekte, periodische Strukturen und große Aspektverhältnisse (Leiterbahnen, Gräben, Einschnitte, etc.) beeinflussen die Streulichtverteilung. Insbesondere im Fall von Mikrobauteilen sind die zu charakterisierenden Oberflächen-Areale oft kleiner als das Gesichtsfeld bisher realisierter Streulicht-Messsysteme und typischerweise nanostrukturiert. Eine Charakterisierung mit konventioneller Bildauswertung der Streulichtverteilung ist in solchen Fällen nicht mehr möglich. Dennoch enthält jede Beugungs- und Streulichtverteilung generell alle Informationen über die zugehörige Oberflächen-Topografie, so dass neue Auswerte-Algorithmen entworfen werden sollen. Das Ziel dieses Projekts besteht darin, speziell im Sub-Wellenlängenbereich (1 nm 300 nm) durch Modellbetrachtungen analytische Zusammenhänge zwischen charakteristischen Streulicht-Effekten und Topografie-Merkmalen für Mikrosysteme und Nanostrukturen herzustellen. Hierzu werden geeignete virtuelle Oberflächen- und Streulicht-Modelle sowie Auswerte-Algorithmen zur Simulation von Messabläufen entwickelt und miteinander kombiniert. Die Forschungsergebnisse bilden die Grundlage, um Mikrobauteile mit Strukturen im Nanometerbereich später fertigungsgerecht prüfen zu können, d.h. flächenhaft, berührungslos und hinreichend schnell, so dass eine Reaktion z.B. bei der Überwachung von laufenden Fertigungsprozessen (Echtzeitfähigkeit des Messsystems) möglich ist.

激光-Optische Streulicht-Messverfahren charakterisieren随机数Raue OberfläChen im Bereich von Ra=1 nm bis Ra=5.000 nm。Oberflächendefkte，Peridische Strukturen and Groçe Aspktverhältnisse(Leiterbahnen，GräBen，Einschnitte等)贝弗卢森是一条流线型的船。在此，我将从Kleiner到Gesichtsfeld Bisher Reisierter Streulicht-Messsystem以及典型的纳米结构中寻找特征。在Solchen Fällen Nicht Mehr möglich，Eine Charakterisierung Mit konvenoneller Bildaustung der Streulichtverteilung ist.所有的信息都是这样的，所以新的算法需要解决问题。Das Ziel Dieses Projekts besteht Darin，Speziell im Sub-Wellenlängenbereich(1 Nm 300 Nm)das Ziel diests Projekts besteht Darin，Speziell im Sub-Wellenlängenbereich(1 Nm 300 Nm)das Ziel diests Projekts besteht Darin，Speziell im Sub-Wellenlängenbereich(1 Nm 300 Nm)das Ziel diests Projekts besteh Darin，Speziell im Sub-Wellenlängenbereich(1 Nm 300 Nm)das Ziel diests Projekts besteh Darin，Speziell im Sub-Wellenlängenbereich(1 Nm 300 Nm)das Ziel dieses Projekkts besteh Darin，Speziell im Sub-W这是一个极小的美德OberfläChen-und Streulicht-Modelle Sowie Auswerte-算法和模拟von Messabläufen entwickelt and miteinander kombiniert。De Forschungsergebnisse bilden die Grundlage，um Mikrobauteile MIT Strukturen im Nanomterterbereich später fertigengsgerecht Prüfen zu können，D.H.Flächenhaft，berührungslos and hireichend Schnell，so dass eine reaktion z.B.beder derÜberwachung von lafenden Fertiunggsprozessen(Echtzeitfähigkeit des MessSystems)möglich ist.