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Modellierung kohärenter Streulicht-Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte im Mikrometerbereich

对微米范围内的确定性纳米结构和随机表面缺陷的相干散射光测量过程进行建模

基本信息

批准号：
5436149
负责人：
Professor Dr.-Ing. Gert Goch
金额：
--
依托单位：
Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft (BIMAQ)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436149?language=en
关键词：
Modellierung koh renter Streulicht Messprozesse

项目摘要

Laser-optische Streulicht-Messverfahren charakterisieren stochastisch raue Oberflächen im Bereich von Ra = 1 nm bis Ra = 5.000 nm. Oberflächendefekte, periodische Strukturen und große Aspektverhältnisse (Leiterbahnen, Gräben, Einschnitte, etc.) beeinflussen die Streulichtverteilung. Insbesondere im Fall von Mikrobauteilen sind die zu charakterisierenden Oberflächen-Areale oft kleiner als das Gesichtsfeld bisher realisierter Streulicht-Messsysteme und typischerweise nanostrukturiert. Eine Charakterisierung mit konventioneller Bildauswertung der Streulichtverteilung ist in solchen Fällen nicht mehr möglich. Dennoch enthält jede Beugungs- und Streulichtverteilung generell alle Informationen über die zugehörige Oberflächen-Topografie, so dass neue Auswerte-Algorithmen entworfen werden sollen. Das Ziel dieses Projekts besteht darin, speziell im Sub-Wellenlängenbereich (1 nm 300 nm) durch Modellbetrachtungen analytische Zusammenhänge zwischen charakteristischen Streulicht-Effekten und Topografie-Merkmalen für Mikrosysteme und Nanostrukturen herzustellen. Hierzu werden geeignete virtuelle Oberflächen- und Streulicht-Modelle sowie Auswerte-Algorithmen zur Simulation von Messabläufen entwickelt und miteinander kombiniert. Die Forschungsergebnisse bilden die Grundlage, um Mikrobauteile mit Strukturen im Nanometerbereich später fertigungsgerecht prüfen zu können, d.h. flächenhaft, berührungslos und hinreichend schnell, so dass eine Reaktion z.B. bei der Überwachung von laufenden Fertigungsprozessen (Echtzeitfähigkeit des Messsystems) möglich ist.

Laser-optische Streulicht-Messverfahren charakterisieren stochastisch raue Oberflächen im Bereich von Ra = 1 nm bis Ra = 5.000 nm. Oberflächendefekte，periodische Strukturen und große Aspektverhältnisse（Leiterbahnen，Gräben，Einschnitte，etc.）影响了这一点。在Mikrobauteilen的秋天，小块表面的特征是Gesichtsfeld更真实的Streulicht-Messysteme和典型的纳米结构。一个具有传统的艺术风格的特点在所有的秋天里都没有梅尔。Dennoch热衷于将Beugungs- und Streulichtverteilung generell alle Informationen über die zugehörige Oberflächen-Topografie，so dass neue Auswerte-Eschemen entworfen韦尔登sollen. Das Ziel dieses Projekts besteht darin，speziell im Sub-Wellenlängenbereich（1 nm 300 nm）durch Modellbetrachtungen analytische Zusammenhänge zwischen charakteristischen Streulicht-Effekten und Topografie-Merkmalen für Mikrosysteme und Nanostrukturen herzustellen. Hierzu韦尔登geeignete virtuelle Oberflächen- und Streulicht-Modelle sowie Auswerte-toilmen zur Simulation von Messabläufen entwickelt und miteinander kombiniert.研究结果显示，在纳米尺度上具有结构的微结构可以产生更大的颗粒，d.h.这是一个简单的反应。bei der Überwachung von laufenden Fertigungsprozessen（Echtzeitfähigkeit des Messsystems）möglich ist.