Simulation von Streulicht-Messprozessen zur Erkennung von Oberflächendefekten im Nanometerbereich und Entwicklung neuer In-Prozess-Messverfahren

模拟散射光测量过程以检测纳米范围内的表面缺陷并开发新的过程中测量方法

基本信息

批准号：
136235846
负责人：
Professor Dr.-Ing. Gert Goch
金额：
--
依托单位：
Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft (BIMAQ)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2009
资助国家：
德国
起止时间：
2008-12-31 至 2012-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/136235846?language=en
关键词：
Simulation von Streulicht Messprozessen zur

项目摘要

Die fortschreitende Entwicklung im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie führt zu einem steigenden Bedarf an Messsystemen, die Nanostrukturen prozessnah bzw. im laufenden Fertigungsprozess charakterisieren. Dabei ist in der Produktionsphase weniger die quantitative Bewertung der Strukturen von Bedeutung. Entscheidend ist vielmehr eine schnelle qualitative Beurteilung der Strukturen und ihrer Funktionalität. Laser-optische Streulicht-Messverfahren sind für diese Aufgabe aufgrund der schnellen, berührungslosen und zerstörungsfreien Messdatenerfassung besonders geeignet. Konventionelle Streulicht- Messmethoden und Auswerteverfahren versagen jedoch, wenn die Strukturgrößen deutlich kleiner als die Lichtwellenlänge sind. Der Grund hierfür ist die unzureichende Kenntnis darüber, wie sich Nanostrukturen bzw. deren Defekte im Streulichtmuster auswirken. Die experimentelle Suche nach diesen Effekten ist nur mit erheblichem Aufwand möglich. Im Rahmen dieses Projektes sollen daher Simulationsalgorithmen zur Berechnung der Lichtstreuung an Nanostrukturen entwickelt werden, um im Vorfeld aufwändiger, messtechnischer Untersuchungen Streufeldbereiche mit signifikanten, topografiebezogenen Merkmalen identifizieren zu können. Anschließend ist ein In-Prozess-Messverfahren zu entwickeln, mit dem sich entsprechende Oberflächendefekte anhand dieser Merkmale erkennen lassen.

Die Fortschreitende Entwicklung Im Bereich der Mikro- undnanotechnologieführtZu Einem Steigenden Bedarf An Messsystemen，Die Nanostrukturukturen Prozessnah bzw. Im laufenden fertigungsprozess charakterisieren。 der produktionsphase weniger die die量化的dabei ist bewertung der strukturen von bedeutung。 Entscheidend ist vielmehr eine schnelle定性beurteilung der strukturen und ihrerfunktionalität。 Laser-optische Streulicht-MessverfahrenSindFürDiese Aufgabe Aufgrund der Schnellen，Berührungslosen和ZerstörungsfreienMessdatenerfassungungsungsungsung andsdatenerfassung besonders besonders geeignets。 Konventionelle streulicht- Messmethoden和Auswerteverfahren versagen Jedoch，Wenn DieStrukturgrößenDeutlichdeutlich kleiner al als dielichtwellenlängeSind。 Der GrundHierfürISTiN rezureichendeKenntnisDarüber，Wie Sich Nanostrukturen BZW。德伦我是世界上的人。我是一个世界上的人，已经在该国去世了。 I am a man of Rahmen's past, solren's efforts to help people with the Simulationsalgorithmen, Berechnung, and I am a man of the Nanostrukture, and I am a man of the Nanostrukture, and I am a man of the Untersuchungen signifikanten, topografiebezogenen Merckramen The in-prozes-Messverfahren, and the like are the best in the world.