Neue multiskalige Mess- und Prüfstrategien für die Produktion von Mikrosystemen

用于微系统生产的新的多尺度测量和测试策略

• 批准号: 5436600
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Engelbert Westkämper
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2007-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436600?language=en
• 关键词: Neue; multiskalige; Mess; und; Pr

Mit wachsender wirtschaftlicher Bedeutung mikro- und nanostrukturierter Objekte nimmt die Forderung nach Verfahren zur umfassenden Charakterisierung derartiger Funktionselemente zu. Existierende Messverfahren bewegen sich stets im Spannungsfeld zwischen Auflösungsvermögen und Messfeldgröße. Werden Sensoren unterschiedlicher Auflösungsstufe durch intelligente Messstrategien zusammengeführt, lassen sich die Vorteile der jeweiligen Sensorkonzepte geschickt verbinden. Zielsetzung dieses Forschungsvorhabens ist die multiskalige Erfassung, Charakterisierung und Prüfung von geometrischen und nichtgeometrischen funktionsrelevanten Kenngrößen im Mikro- und Nanobereich. Im Hinblick auf die Erarbeitung einer multiskaligen Messstrategie für mikro- und nanostrukturierte Objekte sollen Modelle entwickelt werden, welche die Messobjekte über mehrere Skalen hinweg beschreiben und Abhängigkeiten zwischen den Skalen erfassen. Dadurch werden hierarchische Messabläufe möglich, die eine sukzessive, bedarfsgesteuerte Detaillierung der Objektbeschreibung liefern. Die Prüfentscheidung wird dynamisch in den fusionierten Datensätzen getroffen, sobald ein hinreichender Detaillierungsgrad vorliegt. Die Arbeiten werden in enger Zusammenarbeit zwischen dem Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF) und dem Institut für Technische Optik (ITO) durchgeführt. Der Arbeitsschwerpunkt des ITO fokussiert sich auf Strategien der Datenerfassung unter Berücksichtigung kombinativer Messkonzepte, derjenige des IFF hingegen auf Strategien der Dateninterpretation, Datenverknüpfung und Messablaufsteuerung. Am Beispiel der Inspektion von Mikrooptiken und mikromechanischen Komponenten sollen die Ergebnisse beider Partner zusammengeführt und demonstriert werden.

麻省理工学院将其作为纳米结构的发送者，并将其作为一种特殊的功能。现在已经存在的信息不再是信息，而是信息的传播者和信息的传播者。Werden Sensoren unterschiedlicher AuflösungsStufe Durch Intelligence ente Messstrategien zusammengefüHRT，Lassen sich die vorteile vorteile jeweiligen Sensorkonzepte geschickt verbinden。他说：“这是一项非常重要的工作，因为这是一项重要的工作。Im Hinblick auf die Erarbeitung einer Multiskalien Messstrategie für mikro-und nanstrukturierte Objekte Sollen Modelle entwickelt wden，well che de Messobjekteüber mehrere skalen hinweg bechreiben and abhänGigkeiten zwitchiten den Skalen erfassen.这是一种层次分明的生活方式，是一种很好的生活方式。这是一个充满活力的世界，因为它不会给我们带来更多的东西。在Enger Zusammenarbeit Zwitchen DEM Institut für Industries Fertigung and Fabrikbetrieb(IFF)和DEM Institut für Technische Optik(ITO)DEM Institut für Industries Fertigung and Fabrikbetrieb(IFF)和DEM Institut für Technische Optik(ITO)DEM Institut für Industries Fertigung and Fabrikbetrieb(IFF)和DEM Institut für Technische Optik(ITO)。Der Arbeitsschwerpenkt des ITO fokussiert sich auf strategien der Datenerfassung Unter Berück sichtigung kombinativer Messkonzepte，derjenige des IFF hingegen auf Strategien der Datenpretation，Datenverknüpfung and Messablaufsteuerung.Am Beispiel der Inspecktion von Mikrooptiken and mikromachischen Komponenten Sollen die Ergebnisse Beder合作伙伴ZusammengefüHRT and demderstriert wenden。