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Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in Produktion

Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in Produktion
用于测试生产中的微米和纳米系统的新的多尺度测量、控制和测试策略
批准号：
5436604
负责人：
Professor Dr. Wolfgang Osten
金额：
$0.0万
依托单位：
Institut für Systemdynamik (ISYS)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2004
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2003-12-31 至 2010-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436604?language=en
关键词：
NeuemultiskaligeMessSteuerund

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High resolution microscopy using a scattering layer
  • 批准号：
    326167230
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Professor Dr. Wolfgang Osten
  • 依托单位：
    Institut für Technische Optik (ITO)
Characterization of nanostructures with large parameter spaces by fast white light Mueller matrix scatterometry
  • 批准号：
    367363335
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Professor Dr. Wolfgang Osten
  • 依托单位：
    Institut für Technische Optik (ITO)
Rigorous simulation of speckle fields caused by large area rough surfaces using fast algorithms based on higher order boundary element methods
  • 批准号：
    375876714
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Professor Dr. Wolfgang Osten
  • 依托单位：
    Institut für Technische Optik (ITO)
A self-calibrating interferometric method for asphere and freeform testing
  • 批准号：
    273678658
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Professor Dr. Wolfgang Osten
  • 依托单位：
    Institut für Technische Optik (ITO)
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