Development of ZnO-based semiconductor flexible device fabrication processes by using atomic-oxygen-assisted molecular beam epitaxy growth

利用原子氧辅助分子束外延生长开发ZnO基半导体柔性器件制造工艺

基本信息

  • 批准号:
    16K06297
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.83万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2016-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
プラズマドーピング法を用いたp型SiCの作製装置の立ち上げ
推出采用等离子体掺杂法的 p 型 SiC 制造设备
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    深井健太;鍋谷暢一;村中司;松本俊
  • 通讯作者:
    松本俊
第66回応用物理学会春季学術講演会 合同セッションK講演情報
第66届日本应用物理学会春季学术会议联席会议K讲座信息
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
研究紹介
简介 研究
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
極薄チャネルZnO-TFTにおける熱処理の効果
热处理对超薄沟道ZnO-TFT的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    池内達紀;若林岳;佐々木涼介;高木誠也;村中司;鍋谷暢一;松本俊
  • 通讯作者:
    松本俊
プラズマ支援分子線堆積法による フレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (3)
使用等离子体辅助分子束沉积在柔性基板上形成 GZO 透明导电薄膜并进行评估 (3)
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    村中司;小野裕俊;寺田佳史;渡辺三志郎;鍋谷暢一;松本俊
  • 通讯作者:
    松本俊
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    $ 2.83万
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    $ 2.83万
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    2015
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    $ 2.83万
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    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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  • 批准号:
    26820001
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 2.83万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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  • 资助金额:
    $ 2.83万
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    $ 2.83万
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