Smart production technologies for flexible, tough and functional MEMS using functional metal materials

使用功能金属材料实现柔性、坚韧和功能性 MEMS 的智能生产技术

基本信息

批准号：
16H03840
负责人：
Abe Takashi
金额：
$ 12.23万
依托单位：
Niigata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H03840/
关键词：
センサ・デバイス耐久性機能性金属生産技術微細加工タフMEMS 特殊金属 DRIE マイクロファブリケーションマイクロマシンマイクロ・ナノデバイス精密部品加工生産工学金属加工 MEMS 射出成型反応性イオンエッチング

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発

利用3D自加热台开发稀有金属深度反应离子蚀刻技术

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
韓　剛;村田　祐貴;大川　太基;今井　純一;寒川　雅之;安部　隆
通讯作者：
安部　隆

THERMAL REACTIVE ION ETCHING OF TI, TA, MO AND NB WITH SF6 PLASMA

SF6 等离子体热反应离子刻蚀 TI、TA、MO 和 NB

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Gang Han;Yuki Murata;Yuto Minami;Masayuki Sohgawa;Takashi Abe
通讯作者：
Takashi Abe

Development of self-heated cathode for thermally assisted reactive ion etching of minor metals

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DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Gang Han;Yuki Murata;Daiki Okawa;Masayuki Sohgawa;Takashi Abe
通讯作者：
Takashi Abe

タフMEMSのためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価

强韧MEMS钛合金微试件力学性能评价

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
吉田将希;寒川雅之;安部　隆
通讯作者：
安部　隆

SF6/C4F8 ガスを用いたチタンの熱アシスト型反応性イオンエッチング

使用 SF6/C4F8 气体对钛进行热辅助反应离子蚀刻

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
大川太基;村田祐貴;今井純一;寒川雅之;安部隆
通讯作者：
安部隆

DOI：
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作者：
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影响因子：
0
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期刊：
影响因子：
0
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通讯作者：
土井菜穂・大杉尚之・小林正法

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DOI：
10.1007/978-3-030-22741-8_26
发表时间：
2019
期刊：
Lecture Notes in Computer Science
影响因子：
0
作者：
Musa Akihiro;Abe Takashi;Kishitani Takumi;Inoue Takuya;Sato Masayuki;Komatsu Kazuhiko;Murashima Yoichi;Koshimura Shunichi;Kobayashi Hiroaki
通讯作者：
Kobayashi Hiroaki