课题基金 / 基金详情

Smart production technologies for flexible, tough and functional MEMS using functional metal materials

Smart production technologies for flexible, tough and functional MEMS using functional metal materials
使用功能金属材料实现柔性、坚韧和功能性 MEMS 的智能生产技术
批准号：
16H03840
负责人：
Abe Takashi
金额：
$12.23万
依托单位：
Niigata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H03840/
关键词：
センサ・デバイス耐久性機能性金属生産技術微細加工タフMEMS特殊金属DRIEマイクロファブリケーションマイクロマシンマイクロ・ナノデバイス精密部品加工生産工学金属加工MEMS射出成型反応性イオンエッチング

项目摘要

项目成果

Abe Takashi的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発
利用3D自加热台开发稀有金属深度反应离子蚀刻技术
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [韓　剛, 村田　祐貴, 大川　太基, 今井　純一, 寒川　雅之, 安部　隆]
通讯作者： 安部　隆
Development of self-heated cathode for thermally assisted reactive ion etching of minor metals
稀有金属热辅助反应离子刻蚀自热阴极的研制
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [Gang Han, Yuki Murata, Daiki Okawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe]
通讯作者： Takashi Abe
THERMAL REACTIVE ION ETCHING OF TI, TA, MO AND NB WITH SF6 PLASMA
SF6 等离子体热反应离子刻蚀 TI、TA、MO 和 NB
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe]
通讯作者： Takashi Abe
タフMEMSのためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価
强韧MEMS钛合金微试件力学性能评价
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [吉田将希, 寒川雅之, 安部　隆]
通讯作者： 安部　隆
共 16 条
    A comprehensive odor mapping of compartmentalized and valence-encoding MB intrinsic neurons in Drosophila
    • 批准号：
      19K16254
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Abe Takashi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Development of horizontal gene transfer detection system and elucidation of environmental adaptation and co-evolution process
    • 批准号：
      17K00401
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Abe Takashi
    • 依托单位：
      Niigata University
    Comprehensive mapping of odor-evoked activity underlying presynaptic plasticity in compartmentalized axonal lobes of Drosophila mushroom body
    • 批准号：
      17K17681
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Abe Takashi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Investigating the Mechanism of Fluctuations in Arousal Levels
    • 批准号：
      17K19639
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.91万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Abe Takashi
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    国内基金
    海外基金
    针对海洋复杂环境的自养护材料研发及其在海工混凝土中的应用研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王文真
    • 依托单位：
      江苏科技大学
    碱激发粉煤灰-矿渣胶凝材料碳化损伤与耐久性演化的多尺度机制及智能预测
    • 批准号：
      2026JJ80148
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王柏文
    • 依托单位：
      湖南工程学院
    通信与弱电工程结构安全与耐久性评估技术咨询
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      李天一
    • 依托单位：
      江苏开放大学
    受腐蚀混凝土桥墩的复合加固关键技术研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      徐芬
    • 依托单位：
      江苏开放大学