Smart production technologies for flexible, tough and functional MEMS using functional metal materials

使用功能金属材料实现柔性、坚韧和功能性 MEMS 的智能生产技术

基本信息

  • 批准号:
    16H03840
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 12.23万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2016-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)
3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発
利用3D自加热台开发稀有金属深度反应离子蚀刻技术
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    韓 剛;村田 祐貴;大川 太基;今井 純一;寒川 雅之;安部 隆
  • 通讯作者:
    安部 隆
Development of self-heated cathode for thermally assisted reactive ion etching of minor metals
稀有金属热辅助反应离子刻蚀自热阴极的研制
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Gang Han;Yuki Murata;Daiki Okawa;Masayuki Sohgawa;Takashi Abe
  • 通讯作者:
    Takashi Abe
THERMAL REACTIVE ION ETCHING OF TI, TA, MO AND NB WITH SF6 PLASMA
SF6 等离子体热反应离子刻蚀 TI、TA、MO 和 NB
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Gang Han;Yuki Murata;Yuto Minami;Masayuki Sohgawa;Takashi Abe
  • 通讯作者:
    Takashi Abe
タフMEMSのためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価
强韧MEMS钛合金微试件力学性能评价
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    吉田将希;寒川雅之;安部 隆
  • 通讯作者:
    安部 隆
SF6/C4F8 ガスを用いたチタンの熱アシスト型反応性イオンエッチング
使用 SF6/C4F8 气体对钛进行热辅助反应离子蚀刻
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    大川太基;村田祐貴;今井純一;寒川雅之;安部 隆
  • 通讯作者:
    安部 隆
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Abe Takashi其他文献

Comparative study of the composition of hornet larval saliva, its effect on behaviour and role of trophallaxis
大黄蜂幼虫唾液成分及其对行为和交肢作用的影响的比较研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    1991
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Abe Takashi;Tanaka Yoshiya;Miyazaki Hiromitsu;Y. Yasuko
  • 通讯作者:
    Y. Yasuko
視覚的ワーキングメモリに視線・表情が及ぼす影響
注视和面部表情对视觉工作记忆的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Suzuki Yoko;Kawana Fusae;Satoh Makoto;Abe Takashi;大杉尚之・小林正法.;土井 菜穂・大杉尚之・小林正法
  • 通讯作者:
    土井 菜穂・大杉尚之・小林正法
Automatic Onset Detection of Rapid Eye Movements in REM Sleep EEG Data
快速眼动睡眠脑电图数据中快速眼动的自动起始检测
  • DOI:
    10.1016/j.ifacol.2021.10.265
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Soler Andres;Drange Ole;Furuki Junya;Abe Takashi;Molinas Marta
  • 通讯作者:
    Molinas Marta
異なる台高と水平距離におけるドロップジャンプのキネティクス的特徴
不同平台高度和水平距离下落跳的动力学特性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ozaki Hayao;Natsume Toshiharu;Abe Takashi;Machida Shuichi;Naito Hisashi;Kanami Sugimoto;杉本和那美
  • 通讯作者:
    杉本和那美
Development and Validation of a Tsunami Numerical Model with the Polygonally Nested Grid System and its MPI-Parallelization for Real-Time Tsunami Inundation Forecast on a Regional Scale
采用多边形嵌套网格系统及其 MPI 并行化的海啸数值模型的开发和验证,用于区域范围内的实时海啸淹没预报
  • DOI:
    10.20965/jdr.2019.p0416
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0.8
  • 作者:
    Inoue Takuya;Abe Takashi;Koshimura Shunichi;Musa Akihiro;Murashima Yoichi;Kobayashi Hiroaki
  • 通讯作者:
    Kobayashi Hiroaki

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A comprehensive odor mapping of compartmentalized and valence-encoding MB intrinsic neurons in Drosophila
果蝇中区室化和价编码 MB 内在神经元的综合气味图谱
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  • 财政年份:
    2019
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  • 批准号:
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    2017
  • 资助金额:
    $ 12.23万
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基于晶体振荡器的微纳流体回路化学计算器的开发
  • 批准号:
    16K13649
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 12.23万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Development of a novel bioinformatics method to analyze big genome sequence data for efficient knowledge discovery
开发一种新的生物信息学方法来分析大基因组序列数据以实现有效的知识发现
  • 批准号:
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  • 财政年份:
    2014
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    $ 12.23万
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轻量化预应力装配式混凝土水平构件性能研究及工艺开发
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相似海外基金

力学的エネルギー解析に基づく古材および生物劣化材の木材耐久性評価
基于机械能分析的旧材料和生物降解材料的木材耐久性评价
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架橋導入によるヨウ化水素濃縮用カチオン交換膜の耐久性の向上
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Revolutionary Soft Surfboards - Advanced UK low carbon manufacturing for enhanced durability and 100% recyclability
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    2024
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    $ 12.23万
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    Collaborative R&D
小規模分散型治水施設としての舗装構造の治水効果と力学耐久性の検証
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  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 12.23万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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    24H02546
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    2024
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    $ 12.23万
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    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
コンクリート用あと施工アンカーの複合劣化機構の解明と耐久性設計のパラダイムシフト
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  • 批准号:
    23K22834
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 12.23万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
深海環境での微生物機能を用いたコンクリート材の耐久性向上に向けて
在深海环境中利用微生物功能提高混凝土材料的耐久性
  • 批准号:
    23K22965
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 12.23万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
共役ヒ素ユニットの特性を活かした高機能・高耐久性高分子材料の創出
利用共轭砷单元的特性创建高功能和高耐用的聚合物材料
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    23K26702
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 12.23万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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知道了