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Development of new barrier material of interfacial-layer-free for ultrafine TSV

新型无界面层超细TSV阻隔材料的研制

基本信息

批准号：
17K06337
负责人：
Sato Masaru
金额：
$ 3万
依托单位：
Kitami Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Relationship between TiN films with different orientations and their barrier properties

不同取向TiN薄膜与其阻隔性能的关系

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
J. Jpn. Appl. Phys
影响因子：
0
作者：
宮坂日和;井口傑;三島裕樹;井口　傑，三島　裕樹;三島　裕樹，井口　傑;井口傑，三島裕樹;三島裕樹，井口傑;Masaru Sato and Mayumi B. Takeyama
通讯作者：
Masaru Sato and Mayumi B. Takeyama

XRD and EBSD analysis of Cu film on randomly oriented ZrN x film as the underlying materials

作为底层材料的随机取向 ZrN x 薄膜上的 Cu 薄膜的 XRD 和 EBSD 分析

DOI：
10.35848/1347-4065/ab7f57
发表时间：
2020
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Sato Masaru;Yasuda Mitsunobu;Takeyama Mayumi B.
通讯作者：
Takeyama Mayumi B.

反応性スパッタ法によって得られたZrN 膜上のCu(111)高配向化

反应溅射获得 ZrN 薄膜上高度取向的 Cu(111)

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
佐藤　勝;武山　真弓
通讯作者：
武山　真弓

ZrN 膜上に成膜したCu(111)優先配向

ZrN薄膜上Cu(111)择优取向沉积

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
佐藤　勝;安田　光伸;武山　真弓
通讯作者：
武山　真弓

反応性スパッタ法によるTiNx膜の低温作製

反应溅射法低温制备TiNx薄膜

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
佐藤勝; 武山真弓
通讯作者：
武山真弓

DOI：
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作者：
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Sato Masaru其他文献

Differential annotation of converted metabolites (DAC-Met): Exploration of Maoto (Ma-huang-tang)-derived metabolites in plasma using high-resolution mass spectrometry

转化代谢物的差异注释 (DAC-Met)：使用高分辨率质谱法探索血浆中源自麻黄汤的代谢物

DOI：
10.1007/s11306-020-01681-3
发表时间：
2020
期刊：
Metabolomics
影响因子：
3.6
作者：
Ohbuchi Katsuya;Sakurai Nozomu;Kitagawa Hiroyuki;Sato Masaru;Suzuki Hideyuki;Kushida Hirotaka;Nishi Akinori;Yamamoto Masahiro;Hanazaki Kazuhiro;Arita Masanori
通讯作者：
Arita Masanori

Mapping of a Ni/SiN x /n-SiC structure using scanning internal photoemission microscopy

使用扫描内部光电子显微镜绘制 Ni/SiN x /n-SiC 结构图

DOI：
10.7567/1347-4065/aafd99
发表时间：
2019
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Shiojima Kenji;Hashizume Takanori;Sato Masaru;Takeyama Mayumi B.
通讯作者：
Takeyama Mayumi B.

Novel Millimeter-wave PLL Synthesizer with Cascaded Phase Detectors

具有级联鉴相器的新型毫米波 PLL 合成器

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Matsumura Hiroshi;Kawano Yoichi;Sato Masaru;Ohshima Takenori;Shimura Toshihiro;Suzuki Toshihide;O. Yoji;Hara Naoki
通讯作者：
Hara Naoki

Comparison of Forearm Muscle Activation and Relationship with Pressure Distribution in Various Grip Patterns

不同握力模式下前臂肌肉激活及其与压力分布关系的比较

DOI：
10.11596/asiajot.18.31
发表时间：
2022
期刊：
Asian Journal of Occupational Therapy
影响因子：
0
作者：
Irie Keisuke;Yokota Junpei;Takeda Masakatsu;Mukaiyama Kohei;Nishida Yuji;Sato Masaru;Mishima Yasuyoshi;Yamamoto Noritaka;Nagai-Tanima Momoko;Aoyama Tomoki
通讯作者：
Aoyama Tomoki