Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit EDX und EBSD

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„Die laufenden und geplanten Forschungsprojekte am Institut für Werkstoff- und Oberflächentechnologie befassen sich mit der Entwicklung nanostrukturierter funktionaler Schichten und Komposite sowie mit der Herstellung von Nanomaterialien. Für die Klärung damit zusammenhängender grundlegender Fragen der Wechselwirkung, Gefüge-Eigenschaft sowie der Werkstoffoptimierung ist ein Hochauflösungsmikroskop mit Ausstattung für die Analytik und Strukturbestimmung von vitaler Bedeutung. Ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit einem EDX-Detektor für die chemische Mikroanalyse und einem EBSD-Detektor für die Strukturbestimmung im Mikro- bzw. Submikrometer-Bereich stellt für die verschiedenen Forschungsarbeiten ein optimales Werkzeug dar, wegen der Einfachheit der Probenpräparation und des schnellen Zugriffs auf die Ergebnisse. Grenzflächen sowohl an Heterostrukturen aus Dünnschichten als auch an Nanokompositen können mit hoher Auflösung untersucht werden, was die laufenden und geplanten Forschungsarbeiten unterstützen wird. In Bezug auf Nanomaterialien ist ihre eingehende Charakterisierung für die Interpretation ihrer Eigenschaften unabdingbar. Die Charakterisierung setzt voraus, dass solche Nanostrukturen mit hoher Auflösung abgebildet sowie chemisch und strukturell analysiert werden können. Diese Aufgabe wird ebenfalls mit dem beantragten Gerät gelöst.“