Realisierung von neuartigen, elektrisch steuerbaren Hochfrequenzkomponenten auf Basis keramischer Schichten durch elektrophoretische Abscheidung
通过电泳沉积实现基于陶瓷层的新型电控高频元件
基本信息
- 批准号:65226670
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2008
- 资助国家:德国
- 起止时间:2007-12-31 至 2013-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Die „Schichtdickenlücke“ in der realisierbaren Schichtdicke, die mittels klassicher Dünnschichttechnologie oder mittels Dickschichten abgedeckt werden kann, soll durch die elektrophoretische Abscheidung (EPD) geschlossen werden. Hierdurch sollen dielektrische 2½D-Strukturen mit hoher lateraler und vertikaler Auflösung in komplexen Schaltungen implementiert werden. Dabei können die Vorteile der Dickschichten (hohe Linearität und Leistungsverträglichkeit) weitgehend mit den Vorteilen der Dünnschichten (hohe Steuerbarkeiten bei geringen Steuerspannungen) kombiniert werden. Prinzipiell konnte gezeigt werden, dass die „Lücke“ mittels EPD bereits teilweise geschlossen werden kann, allerdings mit Defiziten hinsichtlich der erzielbaren Bauteilgüten. Um diese für zukünftige HFBauteile zu erhöhen, soll durch die EPD von Gel-Pulver-Hybriden die „Schichtdickenlücke“ geschlossen, die Sintertemperatur und Schicht- und Elektrodenrauigkeit verringert und dadurch eine Verringerung der metallischen Verlustanteile der Komponenten erreicht werden. Weiterhin sollen durch selektive EPD in Photolackkavitäten und auf Opferelektroden optimierte 2½D Bauteilkonzepte mit integrierten Schichten realisiert werden. Eine umfassende Bewertung der Eignung der elektrophoretischen Abscheidung zur Herstellung von steuerbaren HF-Komponenten soll abschließend erfolgen.
"Schichtdickenlücke”在Schichtdicke的实现中,经典的Dünschichttechnologie或Dickschichten的中间设备可以通过电致变色吸收(EPD)来吸收。在复杂的Schaltungen实施韦尔登中,通过更高的侧向和垂直方向的增强来解决2½ D结构。Dabei können die Vorteile der Dickschichten(hohe Linearität und Leistungsverträglichkeit)weitgehend mit den Vorteilen der Dünschichten(hohe Steuerbarkeiten bei geringen Steuerspannungen)kombiniert韦尔登韦尔登. Prinzipiell konnte gezeigt韦尔登,dass die“Lücke”mittels EPD bereits teilweise geschlossen韦尔登kann,allerrings mit Defiziten hinsichtlich der erzielbaren Bauteilgüten。Um diese für zukünftige HF Bauteile zu erhöhen,soll durch die EPD von Gel-Pulver-Hybriden die“Schichtdickenlücke”geschlossen,die Sintertemperatur und Schicht- und Elektrodenrauigkeit verringert und dadmineine Verringerung der metallischen Verlustanteile der Komponenten erreicht韦尔登.在Photolackkavitäten和最佳操作2½D Bauteilkonzepte中通过选择性EPD解决外部问题,其中集成了韦尔登。Eine umfassetung Bewertung der Eignung der elektrophoretischen Abscheidung zur Herstellung von steuerbaren HF-Komponenten soll abschließend erfolgen.
项目成果
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