Realisierung von neuartigen, elektrisch steuerbaren Hochfrequenzkomponenten auf Basis keramischer Schichten durch elektrophoretische Abscheidung

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Die „Schichtdickenlücke“ in der realisierbaren Schichtdicke, die mittels klassicher Dünnschichttechnologie oder mittels Dickschichten abgedeckt werden kann, soll durch die elektrophoretische Abscheidung (EPD) geschlossen werden. Hierdurch sollen dielektrische 2½D-Strukturen mit hoher lateraler und vertikaler Auflösung in komplexen Schaltungen implementiert werden. Dabei können die Vorteile der Dickschichten (hohe Linearität und Leistungsverträglichkeit) weitgehend mit den Vorteilen der Dünnschichten (hohe Steuerbarkeiten bei geringen Steuerspannungen) kombiniert werden. Prinzipiell konnte gezeigt werden, dass die „Lücke“ mittels EPD bereits teilweise geschlossen werden kann, allerdings mit Defiziten hinsichtlich der erzielbaren Bauteilgüten. Um diese für zukünftige HFBauteile zu erhöhen, soll durch die EPD von Gel-Pulver-Hybriden die „Schichtdickenlücke“ geschlossen, die Sintertemperatur und Schicht- und Elektrodenrauigkeit verringert und dadurch eine Verringerung der metallischen Verlustanteile der Komponenten erreicht werden. Weiterhin sollen durch selektive EPD in Photolackkavitäten und auf Opferelektroden optimierte 2½D Bauteilkonzepte mit integrierten Schichten realisiert werden. Eine umfassende Bewertung der Eignung der elektrophoretischen Abscheidung zur Herstellung von steuerbaren HF-Komponenten soll abschließend erfolgen.