Herstellung und Charakterisierungsverfahren für nanoskalige magnetische Sensorphasen in Hochtemperatur-Schutzschichten

高温保护层中纳米级磁传感器相的生产和表征过程

基本信息

项目摘要

In den Teilverbundprojekten des Schwerpunktprogramms „HAUT" „Sensor-Funktion für Hochtemperaturschutzschichten zur in-situ Erfassung des Degradationszustands" und „Nanostrukturierte magnetische Dünnschicht-Komposite für Anwendungen in der Hochtemperatur- Sensorik" sollen magnetische bzw. magnetostriktive Phasen in Hochtemperaturschutzschichten verwendet werden, um kontaktlos Informationen über den Degradationsgrad von Oxidationsschutzschichten und die Temperatur von Verschleißschutzschichten zu erhalten. Hierzu werden in den beiden Teilprojekten spezifische Verfahren entwickelt, diese Information über die Verstimmung von hochfrequenten Detektionsspulen zu bestimmen. Für eine optimale Entwicklung sowohl der Hochtemperaturschutzschichten (insbesondere der Auswahl und Prozessierung der enthaltenen magnetischen Sensorphasen) wie auch der Messverfahren sind Sputterverfahren zur Herstellung und eine magnetische Charakterisierung (DC und HF) der Schichten als Funktion der äußeren Parameter (Oxidationsgrad, Temperatur) wesentliche Bestandteile des Arbeitsprogramms. Für die Herstellung von magnetischen Schichten bzw. Phasen in Hochtemperaturschutzschichten ist eine Cluster-Sputteranlage mit der Möglichkeit des Reaktiv- und des Hochfrequenz-Sputterns und der Möglichkeit, magnetische Biesfelder während des Sputterprozesses anzulegen, eine wichtige Voraussetzung für das vorgesehene Arbeitsprogramm. Wichtige durch die magnetische Charakterisierung zu bestimmende Materialparameter sind Füllgrad, Magnetisierung, Koerzitiv- Sättigungs- und Anisotropiefelder der magnetischen Phase sowie die Permeabilität als Funktion der Frequenz und des externen Magnetfeldes. Weitere Anforderungen an die Messmethoden sind hohe Empfindlichkeit, um den voraussichtlich geringen Volumenanteilen der magnetischen Phasen zu entsprechen und ggf. eine Ortsauflösung der Messungen um lokale Variationen des Zustandes der Schutzschichten delektieren zu können. Entsprechende Apparaturen stehen z.Z. an der Technischen Fakultät der Universität Kiel nicht zur Verfügung. Daher sollen die zu den genannten Aufgaben notwendigen Methoden bzw. Apparaturen, die in vorangegangenen Arbeiten bei der Stiftung caesar entwickelt und aus Mitteln der Stiftung caesar angeschafft bzw. realisiert wurden, durch diesen Antrag zum Restbuchwert caesar abgekauft und an die Universität Kiel transferiert werden.
在Schwerpunktprogramms“HAUT”“Sensor-Funktion für Hochtemperaturschutzschichten zur in-situ Erfassung des Degradationszusts”和“Nanostrukturierte magnetische Dünnschicht-Komposite für Anwendungen in der Hochtemperatur- Sensorik”sollen magnetische bzw.高温下的磁致冲击相韦尔登,um kontaktlos Informationen über den Degradationsgrad von Oxidationsschutzschichten und die Temperatur von Verschleißschutzschichten zu halten. Hierzu韦尔登在den beiden Teilprojekten spezifische Verfahren entwickelt中,该信息是最好的信息。 为了实现高温传感器的最佳设计(感应器和永磁传感器的工作原理),传感器也可以作为磁场的发射器,而传感器的磁特性(直流和高频)则取决于参数(氧化度、温度)的函数,这是工作程序的最佳选择。 Für die Herstellung von magnetischen Schichten bzw.高温超导相是一种具有高反射率和高频率发射和高反射率的超导体- 通过对磁感应强度、磁感应强度、磁感应强度和各向异性相等材料参数的磁特性的研究,可以看出磁导率是频率和外部磁场的函数。Weitere Anforderungen and die Messmethoden sind hohe Empindlichkeit,um den voraussichtlich geringen Volume enanteilen der magnetischen Phasen zu entsprechen und ggf.一种用于测量的装置,用于测量传感器的位置变化。 Entsprechende Apparaturen stehen z.Z.在基尔基尔大学的技术实验室里。因此,我们必须采取不一样的方法。在凯撒基金会的工厂里工作,并在凯撒基金会的中部工作。这是因为他们在休息室里休息,然后基尔大学转了韦尔登。

项目成果

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