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アルコキシド法による酸化ルテニウム薄膜の作製・評価と機能化

醇盐法氧化钌薄膜的制备、评价及功能化

基本信息

批准号：
08750906
负责人：
東直人
金额：
$ 0.64万
依托单位：
Shizuoka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1996
资助国家：
日本
起止时间：
1996 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では、酸化ルテニウム薄膜をアルコキシド法により作製し、各種のガスセンサー素子あるいは薄膜中に直接電圧を印加し触媒を直接加熱できる自己発熱型触媒の開発と評価を試みた。本研究で得られた実績の概要を以下に示す。1.酸化ルテニウム薄膜の作製塩化ルテニウムを原料としてこれをジオール中に溶解させ、還流の後、増粘材を加えることによって安定なルテニウムアルコキシド溶液を調整した。調整した溶液中にガラス基板、アルミナハニカムをそれぞれ浸し、一定速度でこれらを引き上げ、その後、空気中で乾燥、焼成することによって酸化ルテニウム薄膜を作製することに成功した。2.酸化ルテニウム薄膜の評価作製した酸化ルテニウム薄膜は、空気中573K以上の熱処理によりアモルファス構造から結晶構造へと変化すること、また、結晶化した薄膜は粒径約20nmの粒子膜で非常に高表面積を有することを解明した。また、電気特性の評価の結果、n型半導体膜であることも確認された。3.ガスセンサー素子および自己発熱型触媒の作製とその応用ガスセンサー素子は、ガラス基板上に酸化ルテニウム薄膜を作製し、その上に金の櫛形電極を蒸着して作製した。一酸化炭素ガスに対する感能特性を調べた結果、検知ガスに対し5秒以内でセンサー表面電気抵抗が著しく変化することが分かった。また、自己発熱型触媒は、アルミナハニカム上に酸化ルテニウム薄膜を作製したものを用いハニカム両端に電極を付け適当な電圧が印加できる構造とした。得られた触媒を用い一酸化窒素の分解特性を評価した結果、他の実用触媒と遜色ない結果が得られた。

In this study, the development of self-heat-resistant catalysts in thin films was evaluated by direct voltage and direct heating. A summary of the results of this study is presented below. 1. For the preparation of acidified films, the raw materials are dissolved in the solution, the viscosity is increased, and the solution is stabilized. Adjust the temperature of the substrate in the solution, adjust the temperature of the substrate, adjust the temperature of the substrate, adjust the 2. The preparation of acidified thin films and the heat treatment at 573K or higher in the air show that the structure of acidified thin films and the particle size of acidified thin films are very high. Results of evaluation of electrical characteristics and confirmation of n-type semiconductor films 3. The production and use of gas-based support elements and self-heating catalysts are made by steaming gold comb-shaped electrodes on gas-based support elements and gas-based substrates. The sensitivity characteristics of an acidified carbon are adjusted and detected within 5 seconds. The heat transfer type catalyst is prepared by using an acid film as an electrode, and the electrode is prepared by using an appropriate voltage as an electrode. The decomposition characteristics of an acidizing agent were evaluated.