Design und Herstellung von Nahfeld-Fernfeld-Transformatoren mittels Sub-100 nm Zwei-Photonen-Polymerisation

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Um das Beugungslimit im optischen Bereich zu umgehen, ist es nötig, die im Fernfeld nicht mehr verfügbare Nahfeldinformation zu erhalten. Für diese Nahfeld zu Fernfeld Transformation werden meist nanostrukturierte Materialien, sogenannte Metamaterialien verwendet. Diese Strukturen können mittels verschiedener Methoden hergestellt werden, haben jedoch einige Nachteile, da die nötigen geometrischen Überstrukturen schwierig herzustellen sind. Mit der Zwei-Photonen- Polymerisationstechnik können dagegen praktisch beliebige, fein strukturierte dreidimensionale Strukturen realisiert werden. Die so erzeugten Metamaterialien sollen, im Nahfeld platziert, durch Streuung ins Fernfeld für die gewünschte Nahfeld-Fernfeld-Transformation sorgen. Im Rahmen dieses Projektes sollen zwei beispielhafte Anwendungen untersucht werden. Zum einen soll die Nahfeld- Fernfeld-Transformation für eine erweiterte höchstauflösenden CD-Metrologie, durch Nutzung der zusätzlichen Nahfeldinformation, zur Charakterisierung von Strukturen mit Dimensionen unterhalb des optischen Beugungslimits angewendet werden. Dies sind z.B. Linien-/Gräbenstrukturen mit Linienbreiten im Bereich von 50 bis 300 nm. Als zweite Anwendung soll ein optisch adressierbares plasmonisches Verbindungsnetzwerk (Interconnects) hergestellt werden, welches zum gezielten Ansprechen von Quantenpunkten genutzt werden kann.