Design und Herstellung von Nahfeld-Fernfeld-Transformatoren mittels Sub-100 nm Zwei-Photonen-Polymerisation

这个问题限制了我们的利益，也就是说，我们不能从费恩菲尔德得到任何信息。Für diese Nahfeld zu Fernfeld变换是一种新型的纳米结构材料、超材料材料。在此之前，我不知道该怎么做，也不知道该怎么做。在此基础上，提出了一种新的结构形式--光聚合技术。我是纳菲尔德·普拉泽特，纳菲尔德·费尔费尔德--转型索尔根。我是Rahman Dieses Projektes Sollen zwei Beispielhafte Anwendungen untersuht。Zum einen soll die Nahfeld-Fernfeld-Transform für eine erweiterte höchstauflöSenden CD-Metrogigie，duch Nutzung der zusätzlichen Nahfield dInformation，zur Charakterisierung von Strukturen MIT Dimensionen unterhalb des optischen Beugungs Limits angewedt wden.Sind Z.B.Linien-/Gräbenstrukturen MIT Linienbreiten im Bereich von 50 bis 300 nm。此外，所有的血浆都是通过网络连接的，也就是说，所有的设备都是这样的。

Um das Beugungslimit im optischen Bereich zu umgehen, ist es nötig, die im Fernfeld nicht mehr verfügbare Nahfeldinformation zu erhalten. Für diese Nahfeld zu Fernfeld Transformation werden meist nanostrukturierte Materialien, sogenannte Metamaterialien verwendet. Diese Strukturen können mittels verschiedener Methoden hergestellt werden, haben jedoch einige Nachteile, da die nötigen geometrischen Überstrukturen schwierig herzustellen sind. Mit der Zwei-Photonen- Polymerisationstechnik können dagegen praktisch beliebige, fein strukturierte dreidimensionale Strukturen realisiert werden. Die so erzeugten Metamaterialien sollen, im Nahfeld platziert, durch Streuung ins Fernfeld für die gewünschte Nahfeld-Fernfeld-Transformation sorgen. Im Rahmen dieses Projektes sollen zwei beispielhafte Anwendungen untersucht werden. Zum einen soll die Nahfeld- Fernfeld-Transformation für eine erweiterte höchstauflösenden CD-Metrologie, durch Nutzung der zusätzlichen Nahfeldinformation, zur Charakterisierung von Strukturen mit Dimensionen unterhalb des optischen Beugungslimits angewendet werden. Dies sind z.B. Linien-/Gräbenstrukturen mit Linienbreiten im Bereich von 50 bis 300 nm. Als zweite Anwendung soll ein optisch adressierbares plasmonisches Verbindungsnetzwerk (Interconnects) hergestellt werden, welches zum gezielten Ansprechen von Quantenpunkten genutzt werden kann.