3D wafer-scale packaging by multiphase bonding using layered metal films
使用分层金属薄膜进行多相键合的 3D 晶圆级封装
基本信息
- 批准号:25289242
- 负责人:
- 金额:$ 11.73万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
低融点金属薄膜を用いたSi/Cu接合における熱応力
使用低熔点金属薄膜的 Si/Cu 键合中的热应力
- DOI:
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Y. Yamauchi;S. Kobayashi;S. Okano;K. Kuroda;T. Okamoto;T. Sakamoto;萩原幸司;五十嵐健太,黒田健介,興戸正純;松本翼;中甑慶太,岡野 聡,小林千悟,黒田健介,岡本威明;多田羅哲,渡邉佑人,福本信次,松嶋道也,藤本公三
- 通讯作者:多田羅哲,渡邉佑人,福本信次,松嶋道也,藤本公三
Solid-Liquid Diffusion Bonding of Copper using Sn/Ag Multilayered Films
使用 Sn/Ag 多层膜对铜进行固液扩散接合
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:S. Fukumoto;K. Miyake;M. Matsushima and K. Fujimoto
- 通讯作者:M. Matsushima and K. Fujimoto
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FUJIMOTO Kozo其他文献
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