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MEMS sensors for harsh environments

MEMS sensors for harsh environments
适用于恶劣环境的 MEMS 传感器
批准号：
313464-2007
负责人：
Nieva, Patricia
金额：
$1.38万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2009
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2009-01-01 至 2010-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=428383
关键词：
MEMSsensorsharshenvironments

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Development of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) tailored to harsh environment applications is a new and emerging area of research. The objective of the proposed research program is to develop new multifunctional MEMS sensors capable of operation in high temperature environments. To achieve this objective, the design and characterization of next generation sensors, appropriate fabrication methods, on-chip integration, and sensor packaging will be investigated.
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Opto-chemical sensors for direct measurement of state of energy in electric battery cells
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05026
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.52万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Opto-chemical sensors for direct measurement of state of energy in electric battery cells
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05026
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.26万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Opto-chemical sensors for direct measurement of state of energy in electric battery cells
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05026
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.26万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Development of Optical MEMS Pressure Sensor Technology for High Temperature Applications
  • 批准号：
    522088-2018
  • 项目类别：
    Engage Grants Program
  • 资助金额：
    $1.82万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
海外基金