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MEMS sensors for harsh environments

MEMS sensors for harsh environments
适用于恶劣环境的 MEMS 传感器
批准号：
313464-2007
负责人：
Nieva, Patricia
金额：
$1.38万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2010
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-01-01 至 2011-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=457568
关键词：
MEMSsensorsharshenvironments

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
开发适合恶劣环境应用的微电子机械系统(MEMS)是一个新兴的研究领域。提出的研究计划的目标是开发能够在高温环境下工作的新型多功能MEMS传感器。为了实现这一目标，将对下一代传感器的设计和表征、合适的制造方法、芯片上集成和传感器封装进行研究。
英文摘要
Development of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) tailored to harsh environment applications is a new and emerging area of research. The objective of the proposed research program is to develop new multifunctional MEMS sensors capable of operation in high temperature environments. To achieve this objective, the design and characterization of next generation sensors, appropriate fabrication methods, on-chip integration, and sensor packaging will be investigated.
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Opto-chemical sensors for direct measurement of state of energy in electric battery cells
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05026
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.52万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Opto-chemical sensors for direct measurement of state of energy in electric battery cells
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05026
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.26万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Opto-chemical sensors for direct measurement of state of energy in electric battery cells
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05026
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.26万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Development of Optical MEMS Pressure Sensor Technology for High Temperature Applications
  • 批准号：
    522088-2018
  • 项目类别：
    Engage Grants Program
  • 资助金额：
    $1.82万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Nieva, Patricia
  • 依托单位：
    University of Waterloo
海外基金