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Ultra precise rotary-linear stage for e-beam lithography

Ultra precise rotary-linear stage for e-beam lithography
用于电子束光刻的超精密旋转线性平台
批准号：
378434-2009
负责人：
AminShahidi, Darya
金额：
$1.53万
依托单位：
Massachusetts Institute of Technology
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Postgraduate Scholarships - Doctoral
财政年份：
2010
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-01-01 至 2011-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=462364
关键词：
Ultrapreciserotarylinearstage

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Ultra precise rotary-linear stage for e-beam lithography
  • 批准号：
    378434-2009
  • 项目类别：
    Postgraduate Scholarships - Doctoral
  • 资助金额：
    $1.53万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    AminShahidi, Darya
  • 依托单位：
    Massachusetts Institute of Technology
Ultra Fast Electromagnetically Driven Mirror Steering System
  • 批准号：
    332042-2007
  • 项目类别：
    Postgraduate Scholarships - Master's
  • 资助金额：
    $1.26万
  • 财政年份：
    2007
  • 负责人：
    AminShahidi, Darya
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Ultra Fast Electromagnetically Driven Mirror Steering System
  • 批准号：
    332042-2006
  • 项目类别：
    Alexander Graham Bell Canada Graduate Scholarships - Master's
  • 资助金额：
    $1.27万
  • 财政年份：
    2006
  • 负责人：
    AminShahidi, Darya
  • 依托单位：
    University of British Columbia
国内基金
海外基金
保险风险模型、投资组合及相关课题研究
  • 批准号：
    10971157
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    胡亦钧
  • 依托单位：
    武汉大学