A novel MEMS based 3D micro load cell utilization in emerging technologies
基于 MEMS 的新型 3D 微型称重传感器在新兴技术中的应用
基本信息
- 批准号:430492-2012
- 负责人:
- 金额:$ 9.03万
- 依托单位:
- 依托单位国家:加拿大
- 项目类别:Idea to Innovation
- 财政年份:2012
- 资助国家:加拿大
- 起止时间:2012-01-01 至 2013-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
A developed 3D MEMS Load Cell (3DMLC) Sensor is utilized for a wide range of haptic sensing applications. The 3DMLC represent as a 3D micro load cell capable of detecting up to six-axis loading utilizing unique distribution of piezoresistive sensing regimes. Compared to existing load detecting and haptic technologies, the developed 3DMLC offers size reduction, significant increase in sensitivity and decrease in power consumption. These advantages will allow for its capacity in multi-dimensional force and moment detection to be utilized in many emerging haptic sensing applications. This project will focus on the optimization of the 3DML sensor and packaging designs, the microfabrication of preliminary and advanced prototypes, quality control and characterization of prototypes, microassembly in compact packages, off-site customer-oriented validation and volume production feasibility study phase toward commercial level product.
开发的3D MEMS称重传感器(3DMLC)传感器用于广泛的触觉传感应用。该3DMLC代表作为一个三维微型称重传感器能够检测多达六个轴的负载利用压阻感测制度的独特分布。与现有的负载检测和触觉技术相比,开发的3DMLC提供了尺寸减小,灵敏度显着增加和功耗降低。这些优点将允许其在多维力和力矩检测中的能力在许多新兴的触觉传感应用中被利用。该项目将专注于3DML传感器和封装设计的优化,初步和高级原型的微制造,原型的质量控制和表征,紧凑封装的微组装,以客户为导向的场外验证和批量生产可行性研究阶段,以实现商业级产品。
项目成果
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专著数量(0)
科研奖励数量(0)
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专利数量(0)
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
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