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Three dimensional nano-lithography: combined electron and ion beam fabrication

Three dimensional nano-lithography: combined electron and ion beam fabrication
三维纳米光刻：电子束和离子束组合制造
批准号：
LP120100161
负责人：
Prof Saulius Juodkazis
金额：
$6.49万
依托单位：
Swinburne University of Technology
依托单位国家：
澳大利亚
项目类别：
Linkage Projects
财政年份：
2012
资助国家：
澳大利亚
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-01-01 至 2015-05-06
来源：
https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/LP120100161
关键词：
Threedimensionalnanolithographycombined

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By adding one more dimension to a planar (hence two dimensional - 2D) lithography, it will become possible to structure and texture materials in three dimensions (3D) by combining electron beam lithography (2D) and ion beam milling (3D) with the highest precision of several nanometres. This will open new applications in photonics and sensing.
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会议论文
3D integrated crystalline UV optical lens-fiber couplers for astronomy
  • 批准号：
    DP240103231
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $36.44万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    Prof Saulius Juodkazis
  • 依托单位：
    Swinburne University of Technology
Transportable high-power blue laser for processing of reflective materials
  • 批准号：
    LE220100150
  • 项目类别：
    Linkage Infrastructure, Equipment and Facilities
  • 资助金额：
    $21.34万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Prof Saulius Juodkazis
  • 依托单位：
    Swinburne University of Technology
Electro-Optical Primers for Safe Use and Clean Manufacturing
  • 批准号：
    LP190100505
  • 项目类别：
    Linkage Projects
  • 资助金额：
    $41.42万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Prof Saulius Juodkazis
  • 依托单位：
    Swinburne University of Technology
Photonic crystals: The key to breaking the silicon-solar cell efficiency barrier
  • 批准号：
    DP190103284
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $31.6万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Prof Saulius Juodkazis
  • 依托单位：
    Swinburne University of Technology
国内基金
海外基金
Scalable Learning and Optimization: High-dimensional Models and Online Decision-Making Strategies for Big Data Analysis
Fibered纽结的自同胚、Floer同调与4维亏格
  • 批准号：
    12301086
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    何东泰
  • 依托单位：
    同济大学
基于个体分析的投影式非线性非负张量分解在高维非结构化数据模式分析中的研究
  • 批准号：
    61502059
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    19.0万元
  • 批准年份：
    2015
  • 负责人：
    刘昶
  • 依托单位：
    成都大学
应用iTRAQ定量蛋白组学方法分析乳腺癌新辅助化疗后相关蛋白质的变化
  • 批准号：
    81150011
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    李席如
  • 依托单位：
    中国人民解放军总医院