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A fundamental analysis of abrasive slurry hydrodynamics in Chemical-Mechanical Polishing (CMP)

A fundamental analysis of abrasive slurry hydrodynamics in Chemical-Mechanical Polishing (CMP)
化学机械抛光 (CMP) 中磨料浆流体动力学的基本分析
批准号：
RGPIN-2015-05420
负责人：
Sanders, RSean
金额：
$2.91万
依托单位：
University of Alberta
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2017
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-01-01 至 2018-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=638042
关键词：
fundamentalanalysisabrasiveslurryhydrodynamics

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Chemical-mechanical polishing (CMP) is widely used in the microelectronics and semiconductor industries. Surface films (often just nanometers thick) are removed by exposing the chip, or wafer, to a flowing slurry consisting of inert abrasive particles suspended in a chemically reactive solution. The chemical components and the abrasive particles work synergistically to remove a surface layer of material.
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Mixing and transport of particles and droplets co-suspended in a liquid-continuous phase
  • 批准号：
    RGPIN-2020-04848
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Sanders, RSean
  • 依托单位：
    University of Alberta
Scale-up, design and optimization of industrial multiphase processes
  • 批准号：
    543901-2019
  • 项目类别：
    Collaborative Research and Development Grants
  • 资助金额：
    $27.93万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Sanders, RSean
  • 依托单位：
    University of Alberta
Mixing and transport of particles and droplets co-suspended in a liquid-continuous phase
  • 批准号：
    RGPIN-2020-04848
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Sanders, RSean
  • 依托单位：
    University of Alberta
Mixing and transport of particles and droplets co-suspended in a liquid-continuous phase
  • 批准号：
    RGPIN-2020-04848
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Sanders, RSean
  • 依托单位：
    University of Alberta
国内基金
海外基金
Scalable Learning and Optimization: High-dimensional Models and Online Decision-Making Strategies for Big Data Analysis
Intelligent Patent Analysis for Optimized Technology Stack Selection:Blockchain BusinessRegistry Case Demonstration
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    外国学者研究基金项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    USHARANI HAREESH GOVINDARA JAN
  • 依托单位：
    上海理工大学管理学院
利用全基因组关联分析和QTL-seq发掘花生白绢病抗性分子标记
基于SERS纳米标签和光子晶体的单细胞Western Blot定量分析技术研究
  • 批准号：
    31900571
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    刘兵
  • 依托单位：
    南通大学