课题基金 / 基金详情

ULSI硅片缺陷控制与利用机理和过渡过程

批准号：
68876105
项目类别：
面上项目
资助金额：
4.0 万元
负责人：
徐岳生
依托单位：
河北工业大学
学科分类：
半导体科学与信息器件
结题年份：
1990
批准年份：
1988
项目状态：
已结题
项目参与者：
张维连、任丙彦、鞠玉林、崔德升、林秀俊、陈克之、陈丙贤、高秀清、高集金
关键词：
引入缺陷以控制缺陷利用缺陷氧的可控沉淀

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