课题基金 / 基金详情

大功率和“功率集成“器件用NTDCZSi氧的控制与利用

批准号：
68976011
项目类别：
面上项目
资助金额：
5.0 万元
负责人：
徐岳生
依托单位：
河北工业大学
学科分类：
半导体科学与信息器件
结题年份：
1991
批准年份：
1989
项目状态：
已结题
项目参与者：
张维连、鞠玉林、任丙彦、张华、李养贤、陈炳贤、高秀清、张福祯、田祥云
关键词：
功率集成氮化硅坩埚等价掺杂

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