课题基金 / 基金详情

原位复合制备改性α-Si:H/c-Si高性能光电薄膜的研究

批准号：
69776004
项目类别：
面上项目
资助金额：
12.5 万元
负责人：
杜丕一
依托单位：
浙江大学
学科分类：
半导体材料
结题年份：
2000
批准年份：
1997
项目状态：
已结题
项目参与者：
巍文霖、寿瑾珲、朱涛、吴建荣、葛金余
关键词：
非晶硅及晶体硅高性能光电薄膜原位复合

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