课题基金 / 基金详情

BF+2分子离子注入硅辐射损伤的反常行为

批准号：
19375057
项目类别：
面上项目
资助金额：
7.0 万元
负责人：
林成鲁
依托单位：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
学科分类：
粒子束与物质相互作用
结题年份：
1996
批准年份：
1993
项目状态：
已结题
项目参与者：
周祖尧、何治平、陈莉芝、朱文化、王连卫
关键词：
损伤增强效应BF+2注入辐射损伤

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