课题基金基金详情
硅上β-FeSi2的超高真空镀膜外延及其光学性质研究
批准号：
69576036
项目类别：
面上项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
林成鲁
依托单位：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
学科分类：
F0405.半导体器件物理
结题年份：
1998
批准年份：
1995
项目状态：
已结题
项目参与者：
王连卫、林贤、陈向东、郑立荣、沈勤我、倪如山
关键词：
外延机制β-FeSi2光学性质
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