细长管筒内表面离子注入处理是表面改性领域一个非常棘手的问题。等离子体浸没离子注入概念为内表面离子注入提供了一种新思路。为了获得内部等离子体，有研究者采用了内部电容耦合射频等离子体方法，但由于二极放电（径向放电），放电空间（管筒半径）需要很大，结果仍很难处理较细的管筒。因此本项目提出了一种新的技术概念：电感耦合射频等离子体内源的内表面离子注入。将一端接地的螺线管放置在管筒内，螺线管通过射频电流时就会在管筒内产生电感耦合等离子体。管筒接高压脉冲，吸引离子获得注入效应。该技术的最大优势是：由于是无极、轴向放电，对管筒径向空间要求较小，结果可以处理非常细的管筒。巧妙的是：内部电感线圈既作为内部等离子体源又充当内电极（地电位钳制），一根丝解决了内筒注入两个难题。针对这样的物理概念，本项目研究内容包括：细长管筒条件下电感耦合射频放电的规律、高压脉冲条件下稳定工作的条件、等离子鞘层形成及扩展动力学等等。