课题基金 / 基金详情

基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究

批准号：
50605012
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
28.0 万元
负责人：
闫永达
依托单位：
哈尔滨工业大学
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
2009
批准年份：
2006
项目状态：
已结题
项目参与者：
曹永智、胡振江、史立秋、赵小力、张顺国、高彬
关键词：
有序纳米微结构AFM探针刻蚀自组装嵌段共聚物

项目摘要

结项摘要

项目成果

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中文摘要
本项目针对纳米技术和纳米电子器件的发展对自组装有序纳米微结构加工技术的迫切需求，提出了"AFM探针刻蚀技术辅助自组装有序纳米微结构的研究"这一前沿性研究课题。通过AFM探针刻蚀技术制备出带有微米尺度的复杂二维图形和三维结构的基片，然后利用基片上的微米结构结合所施加的外场来引导嵌段共聚物薄膜自组装过程，进而在一定范围内实现有序纳米微结构的排列。这种方法将自上而下的传统机械刻蚀方法和自下而上的自组装方法巧妙地结合起来，一方面拓展了嵌段共聚物自组装有序纳米微结构的丰富性和人为调控长程有序自组装纳米微结构的新途径，另一方面，可以将微米结构与纳米结构有机地组装起来，生成对纳米电子器件有重大意义的自组装有序微米/纳米复合结构，为发展纳米电子器件的加工工艺提供新的手段。
英文摘要
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会议论文列表
专利列表
Effects of scratching directions on AFM-based abrasive abrasion process
划痕方向对基于 AFM 的磨料磨损过程的影响
DOI： 10.1016/j.triboint.2008.05.011
发表时间： 2009
期刊： Tribology International
影响因子： 6.2
作者： [Yan, Y. D., Sun, T., Liang, Y. C., Dong, S.]
通讯作者： Dong, S.
Investigation on AFM-based micro/nano-CNC machining system
基于AFM的微纳米数控加工系统研究
DOI： 10.1016/j.ijmachtools.2007.01.008
发表时间： 2007-09
期刊： International Journal of Machine Tools & Manufacture
影响因子： 14
作者： [Dong, Shen, Yan, Yongda, Sun, Tao, Liang, Yingchun]
通讯作者： Liang, Yingchun
Molecular dynamics study of scratching velocity dependency in AFM-based nanometric scratching process
基于 AFM 的纳米划痕过程中划痕速度依赖性的分子动力学研究
DOI： 10.1016/j.msea.2008.10.049
发表时间： 2009-04
期刊： Materials Science and Engineering A
影响因子： --
作者： [Junjie Zhang, Tao Sun,Yongda Yan,Yingchun Liang]
通讯作者： Junjie Zhang, Tao Sun,Yongda Yan,Yingchun Liang
基于微探针加工技术的分子自组装过程实验研究
DOI： --
发表时间： --
期刊： 机械工程师
影响因子： --
作者： [孙涛, 谢磊, 董申, 曹永智, 闫永达]
通讯作者： 闫永达
共 11 条
    基于结构化刀具的跨尺度三维纳米结构表面加工基础理论与方法
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      重点项目
    • 资助金额：
      300万元
    • 批准年份：
      2020
    • 负责人：
      闫永达
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    采用结构化AFM针尖的纳米加工机理研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      国际(地区)合作与交流项目
    • 资助金额：
      10万元
    • 批准年份：
      2019
    • 负责人：
      闫永达
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    基于探针力调制原理的纳米机械加工SERS活性基底的新方法研究
    • 批准号：
      51675134
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      64.0万元
    • 批准年份：
      2016
    • 负责人：
      闫永达
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    采用弹性工艺系统在回转曲面上加工微纳结构的新方法研究
    • 批准号：
      51175125
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      60.0万元
    • 批准年份：
      2011
    • 负责人：
      闫永达
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    国内基金
    海外基金