Dopant Enhanced Solid Phase Epitaxy in Silicon and Germanium
Dopant Enhanced Solid Phase Epitaxy in Silicon and Germanium
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硅和锗中的掺杂增强固相外延
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.C.McCallu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
B.C.Johnson;T.Ohshima;J.C.McCallu
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