课题基金 / 基金详情

Investigations of Chemical Mechanical Polishing

Investigations of Chemical Mechanical Polishing
化学机械抛光的研究
批准号：
9872595
负责人：
Steven Danyluk
金额：
$5.0万
依托单位：
Georgia Tech Research Corporation
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1998
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1998-09-01 至 2001-07-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9872595&HistoricalAwards=false
关键词：
InvestigationsChemicalMechanicalPolishing

项目摘要

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中文摘要
翻译
Danyluk/GA技术这是一个探索性研究项目，旨在加强工业/大学工程摩擦学合作研究中心。该联合项目涉及与化学机械抛光相关的基本问题的研究。特别是，这项研究将在存在困在界面上的流体的情况下，建立“软”表面和“硬”表面之间的基本关系。要研究的是粗糙度大小、机械性能和几何布局，以及多层衬垫结构对抛光特性的影响。这项研究将为抛光和抛光机的发展带来新的策略
英文摘要
ABSTRACTEEC-9872595Danyluk/GA Tech This is an Exploratory Research Project to augment the Industry/University Cooperative Research Center for Engineering Tribology.This joint project involves a study of the fundamental issues associated with chemical mechanical polishing. In particular, the research will develop fundamental relationships between a 'soft' and a 'hard' surface in the presence of fluids trapped at the interface. To be studied are asperity size, mechanical properties and geometric placement, and the influence of multiple pad liners structures on polishing characteristics. The research should lead to new strategies for polishing and for the development of polishing machines
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EAGER: New Concept for Low Cost, High Throughput Inspection for Cracks in PV Manufacturing
  • 批准号：
    1042187
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $9.0万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
Workshop on Future Needs in Tribology
  • 批准号：
    0442380
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $2.0万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
Request for Funds for Research Scientists and Engineers from the Former Soviet Union to Attend the Wear of Materials Conference
  • 批准号：
    0329611
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $1.2万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
Request for Funds for a NSF Delegation to Attend ASIATRIB2002 International Conference
  • 批准号：
    0228880
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $5.2万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
国内基金
海外基金
Chinese Journal of Chemical Engineering
  • 批准号：
    21224004
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    廖叶华
  • 依托单位：
    化学工业出版社
Chinese Journal of Chemical Engineering
  • 批准号：
    21024805
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    廖叶华
  • 依托单位：
    化学工业出版社