Mikro-Auge basierend auf Glasoptiken und durchstimmbaren Dünnschichtfiltern herstellbar in waferbasierter Fertigung

Ziel dieses Projektes ist die Realisierung von durchstimmbaren Mikro-Augen basierend auf pronoptiken in Combination mit durchstimmbaren Dünnschichtfiltern.只有通过微系统工艺的改进和韦尔登技术，才能实现韦尔登组件的孔-眼。这是一种通过衰减光学系统来实现对多种衬底的测量的方法。Dabei soll die Abbildung über märische und asphärische Mikrolinsen und -spiegel realisiert韦尔登，die mit dem Verfahren des viskosen mesfließens in waferbasierter Fertigung ausgeformt韦尔登。这种光学韦尔登与其他光学材料结合，用于健康领域的分段过滤。Polarizationsselektion，die Fokusaktuierung und die Einstellung der Lichtstärke bzw.这是一种混合物。Die Durchstimmung der Dünnschichtfilter erfolgt über die Verformung integrierter Schichten aus PDMS（Polydimethyldichloran）in Folge von thermischer bzw. elektrostatischer Aktuierung.这种晶圆级光学韦尔登首先是在系统集成之后进行的，并且是一种高容量的半导体封装。Die Combination von durchstimmbaren Dünschichtfiltern mit optiken ermöglicht eine hohe optische Güte und Robustheit.

Ziel dieses Projektes ist die Realisierung von durchstimmbaren Mikro-Augen basierend auf Glasoptiken in Kombination mit durchstimmbaren Dünnschichtfiltern. Es sollen künstliche Einapertur- Augen aus Komponenten realisiert werden, die mit Verfahren der mikrosystemtechnischen Waferprozessierung hergestellt und zusammengefügt werden können. Geplant ist die Realisierung von aus mehreren Substraten zusammengesetzten durchstimmbaren abbildenden katadioptrischen Systemen. Dabei soll die Abbildung über sphärische und asphärische Mikrolinsen und -spiegel realisiert werden, die mit dem Verfahren des viskosen Glasfließens in waferbasierter Fertigung ausgeformt werden. Diese Glasoptiken werden kombiniert mit mehreren durchstimmbaren, segmentierten Dünnschichtfiltern für die Wellenlängenbereichs- bzw. Polarisationsselektion, die Fokusaktuierung und die Einstellung der Lichtstärke bzw. die Realisierung einer Blende. Die Durchstimmung der Dünnschichtfilter erfolgt über die Verformung integrierter Schichten aus PDMS (Polydimethylsiloxan) in Folge von thermischer bzw. elektrostatischer Aktuierung. Diese Waferlevel- Optiken werden erst nach der Systemintegration vereinzelt und bieten eine kostengünstige Herstellung für mittel- bis hochvolumige Anwendungen. Die Kombination von durchstimmbaren Dünnschichtfiltern mit Glasoptiken ermöglicht eine hohe optische Güte und Robustheit.