Taktile Sensoren für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik

这是一种新的技术，新的技术，新的技术和新的技术。Ausangspunkt für die Forschungen的Grundlage and Ausangspunkt für die Forschungen，seatein am Institut für MikroTechnik der TU Braunschweig erfolgreich entwickelter Prototyp.从理论和实验两个方面对此进行了研究。所有的材料都是硅酸盐类的。从另一种材料中选择了一种新的设计方法。分析了这一问题并提出了相应的解决办法。制造原型的Sollen MIT Hilfe eines am Institut für Prozessess-and SensorTechnik neu zu entwickelnden Präzitions-Kraft-Weg-Testing Systems Unterauthht and Kalibriert is den。我们不知道这些东西是什么味道和味道的东西。

Ziel der Forschungsarbeiten ist es, neue Konzepte und Technologien für die Verwirklichung eines mikromechanischen, dreidimensional messenden Mikrotasters zu entwickeln. Als Grundlage und Ausgangspunkt für die Forschungen, dient ein am Institut für Mikrotechnik der TU Braunschweig erfolgreich entwickelter Prototyp. Mit Hilfe von theoretischen und experimentellen Untersuchungen sollen neue Verformungskörpergeometrien entwickelt werden. Als Material soll zunächst Silizium zum Einsatz kommen. Der Einsatz von alternativen Materialien soll geprüft und entsprechende Designs abgeleitet werden. Die daraus folgenden fertigungstechnischen Problemstellungen müssen analysiert und entsprechende Fertigungsprozesse entwickelt und umgesetzt werden. Die gefertigten Prototypen sollen mit Hilfe eines am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik neu zu entwickelnden Präzisions-Kraft-Weg-Test systems untersucht und kalibriert werden. Weitere Forschungsziele sind Untersuchungen zu Verbindungstechnologien und der Miniaturisierung des Tastelements.