建立MSE方法，可以在距表面深度方向上评估每个薄膜的纳米级表面强度-猫眼课题宝

建立MSE方法，可以在距表面深度方向上评估每个薄膜的纳米级表面强度

批准号：

24246031

负责人：

IWAI Yoshiro

金额：

$29.79万

依托单位：

University of Fukui

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

财政年份：

2012

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2012-04-01 至 2016-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24246031/

关键词：

マイクロスラリージェットエロージョン MSE 硬質皮膜 DLC膜傾斜膜超硬合金スクリーニング試験法表面強度評価トライボロジー薄膜強度評価評価法開発表面強度 MSE法硬質薄膜軟質薄膜

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通讯作者： Shingo Kawara