Untersuchung elastischer und struktureller Eigenschaften von Hartstoffschichten durch Brillouin-Lichtstreuspektroskopie

ausder Dispersion akustischer Oberflächenwellen werden mehrere unabhängige elastische Konstanten d<e:1> nner Hartstoffschichten best。在此基础上，提出了一种新型的金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden、金属karbiden。德国模具温度，德国模具，德国模具能源风模具，德国模具，德国模具，德国模具，德国模具。Über disese parameters werden Phasenänderungen, beispielsweise von nanokristallinem zu amorphem Aufbau erzwungen and fr die technische Nutzbarkeit withichtige Eigenschaften, wie Härte, Elastizität, verschleei ß festikeit und haftfestikeit, gezielt eingestellt。Durch die geplanten Messungen wind die Veränderung des elastischen Tensors in Abhängigkeit von den Depositionsbedingungen aufgeklärt。<s:1>晶体取向与损伤<e:1>: <s:1>晶体取向与损伤<e:1>: <s:1>纹理与晶体取向。Die Brillouin-Lichtstreuspektren liefern zusätzliche信息<e:1> Die Kristallitgröße。

Aus der Dispersion akustischer Oberflächenwellen werden mehrere unabhängige elastische Konstanten dünner Hartstoffschichten bestimmt. Es sollen Untersuchungen an Bornitrid- und an amorphen Kohlenstoffschichten sowie an Schichten aus Metallkarbiden und an Siliziumkarbid durchgeführt werden. Durch die Temperatur, den Ionenfluß und die Ionenenergie wird die Mikrostruktur des aufwachsenden Materials in erheblichem Maße beeinflußt. Über diese Parameter werden Phasenänderungen, beispielsweise von nanokristallinem zu amorphem Aufbau erzwungen und für die technische Nutzbarkeit wichtige Eigenschaften, wie Härte, Elastizität, Verschleißfestigkeit und Haftfestigkeit, gezielt eingestellt. Durch die geplanten Messungen wird die Veränderung des elastischen Tensors in Abhängigkeit von den Depositionsbedingungen aufgeklärt. Hierdurch lassen sich Aussagen über die Kristallitorientierung und damit über die Textur der Schicht treffen. Die Brillouin-Lichtstreuspektren liefern zusätzliche Information über die Kristallitgröße.