Manufacturing of wear-resistent hard material multi layers and optimization of their mechanical properties by investigation of nanostructure

他说：“这是一件很重要的事情，因为它是一件很重要的事情。大足接受了血浆化学(PACVD)、TiN-Al_2O_3-Viellagenschichellt和Stukturell Varrangig MIT分析仪器的研究。这是一种新的技术和技术，可用于生产、复制、生产和使用多种材料，如纳米材料、纹理和材料，以及其他材料。这是一种新型的纳米材料和材料的合成方法，它是一种新型的纳米材料。Elektronen-EnergieverlustSpektroskopie(EELS)将是Rastermodus schwerpenktmäúig eingesetzt，Dazu将是ELEKtronen-EnergieverlustSpektroskopie(EELS)的成像方法。这是一个重要的元素，也是一种特殊的信号。这是一种新的分析方法，其特征是：能源的特性，能源的特性，能源的需求，经济的发展，科学的发展。在此基础上，建立了一种以机械为基础的技术体系。Site-Begebelastungen im Rasterelektronenmikroskop是Schichthaftung augewählter Schichthaftung herangezogen。Aussagen zu Eigenspannungen Sollen röntgengiisch erhalten.您的位置：我也知道>教育/科学>教育信息>基本元素配置文件和基本信息。

Die Antragsteller beabsichtigen, Zusammenhänge zwischen den Herstellungsbedingungen und dem nanoskaligen Aufbau von Multilagen, mit Auswirkung auf deren mechanisches Verhalten, aufzuklären. Dazu werden durch plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PACVD) TiN-Al2O3-Viellagenschichten hergestellt und strukturell vorrangig mit analytischer Transmissionselektronenmikroskopie (AnTEM) untersucht. Ziel ist es, reproduzierbare Abscheidungsbedingungen zu ermitteln, die gleichmäßige Multischichten mit Korngrößen von einigen Nanometern, geringer Textur und geringer Mikrorißdichte hervorbringen, wodurch eine Verfestigung des Gefüges eintritt und sehr harte, gut haftende Schichten entstehen. Der Einfluß des Substrates auf die Schichthaftung wird einbezogen.Die AnTEM-Untersuchungen sollen Informationen über die Nanostruktur der Systeme erbringen, insbesondere der Gebiete mit Ausdehnungen von wenigen Nanometern an den Grenzflächen zwischen den Materialphasen und zum Substrat. Die Elektronen-Energieverlustspektroskopie (EELS) wird im Rastermodus schwerpunktmäßig eingesetzt, dazu wird die Methode des EELS-Imaging methodisch ausgebaut. Es werden sowohl element- als auch bindungsspezifische Signale zur Charakterisierung der Probe benutzt. Ziele sind hier das Erreichen hoher lateraler analytischer Auflösungen bei der Untersuchung geeigneter Charakteristika des Energieverlusts, wie der Kantenfeinstruktur und des Spektrums im Anregungsbereich der Valenzelektronen, sowie die Entwicklung von Methoden zur effektiven Erfassung und Auswertung der anfallenden großen Datenmengen. Zur Beurteilung der mechanischen Eigenschaften werden Mikrohärtemessungen, Ritztests und Rauhigkeitsmessungen durchgeführt. In-situ-Biegebelastungen im Rasterelektronenmikroskop werden zur Untersuchung der Schichthaftung ausgewählter Schichten herangezogen. Aussagen zu Eigenspannungen sollen röntgenographisch erhalten werden. Weiterhin sollen mit GDOES-Messungen Elementtiefenprofile am Substrat bestimmt werden.