Nachweis durch hochauflösende Spektroskopie reaktiver, kurzlebiger, siliciumhaltiger Zwischenstufen in der Gasphase mit Relevanz für Abscheidungsprozesse fester Materialien

您的位置：凡人谷知道>教育/科学>科学与技术>科学与技术>，z.b.de Herstellung von SiO-Filmen dasétzen von SiO-Schichten，Sowie für die Grundlagenforschung.I m Vorhaben Sollen kurzlebige Moleküle Mit Si=O-and Si=S，nachdem nachgewiesen wurde，da？sich H_2SiO and F_2SiS Dh ch Der Disilyl-Deducate(H_3Si)_2O BZW.(F_3Si)_2S erzeugen Lassen.Fisher unbekannten Moleküle F2SiS，F2SiO and H2 SiS Sollen in der Gas MIT Hilfe der MMW-und IR-Spektroskopie untersuht den。在Kondensierter相中，我们可以从GARIPASEN-COO-SEMOLYSE DER DISHERIALILDEIGGENERNAL DIT GEIGNETen Abfangreagentien Sowie in Kondensierter相位MIT Donoren DurchgefüHRT Werden soll.

Kurzlebige Zwischenstufen mit Silicium-Chalkogen-Mehrfachbindungen sind wichtig für anwendungsorientierte Technologien, z. B. die Herstellung von SiO-Filmen durch CVD oder das Ätzen von SiO2-Schichten, sowie für die Grundlagenforschung. Im Vorhaben sollen kurzlebige Moleküle mit Si=O- und Si=S-Doppelbindungen erzeugt werden, nachdem nachgewiesen wurde, daß sich H2SiO und F2SiS durch Pyrolyse der Disilyl-Derivate (H3Si)2O bzw. (F3Si)2S erzeugen lassen. Die in freier Form bisher unbekannten Moleküle F2SiS, F2SiO und H2SiS sollen in der Gasphase mit Hilfe der MMW- und IR-Spektroskopie untersucht werden. Diese kurzlebigen Spezies sollen zum Aufbau höhermolekularer Systeme mit SiOSi- und SiSSi-Bindungen genutzt werden, wobei die Gasphasen-Co-Thermolyse der Disilylchalkogenide mit geeigneten Abfangreagentien sowie in kondensierter Phase mit Donoren durchgeführt werden soll.