Rastersondenmikroskopische Nanostrukturierung von Silizium

这是一种新型的纳米技术，在工业领域具有广泛的应用。在扫描电子显微镜和原子力显微镜下，所有的原子都是由原子力显微镜和原子力显微镜组成的。平版印刷--编程员们都是如此。在Elektrolyten duchgeführt的Geeigneter Gasatmosphäre和Geeigneter Gasatmosphäre，De Versuhe zur Defekterzeugung是一座阁楼。Als mögliche Defekte kommen Indentationen，Oxidinseln and Mittels STM abgeschiedene Metallgroup in Betracht...。这是一种新的技术和技术，它的主要特点是对环境进行了有效的吸附。..。这是一种特殊的电化学反应。这是一种系统化的方法，也是一种新的方法。埃尔福德利希。我是Vordergrund，我是Gezielte Herstellung Geordneter Strukturen MIT，他的名字是Aspktverhältns。ALS分析方法包括：AFM、STM、ELECTRONEN MICKROKROSKISCHE Verfahren和体外电化学法-UHV-Oberflächen分析。

Die Mikro- und Nanostrukturierung von Silizium soll mit rastersondenmikroskopischen Verfahren induziert werden. Dies soll durch die Erzeugung von Defekten im atomaren Bereich unter Einsatz von STM und AFM, auch unter Verwendung von sog. Lithographie-Programmen erleichtert werden. Die Versuche zur Defekterzeugung werden an Luft, in geeigneter Gasatmosphäre und in Elektrolyten durchgeführt. Als mögliche Defekte kommen Indentationen, Oxidinseln und mittels STM abgeschiedene Metallcluster in Betracht. ... Neben diesen Versuchen zur Erzeugung geordneter Strukturen soll auch der Einfluß von spezifisch adsorbierten Ionen auf die Strukturbildung untersucht werden. ... Die weitere Strukturbildung wird elektrochemisch durchgeführt. Hierfür ist eine systematische und gezielte Variation der Versuchsparameter ... erforderlich. Im Vordergrund steht die gezielte Herstellung geordneter Strukturen mit hohem Aspektverhältnis. Als Analyseverfahren werden in situRastersondenmikroskopie (AFM, STM), elektronenmikroskopische Verfahren und ex situ kombinierte Elektrochemie-UHV-Oberflächenanalyseverfahren eingesetzt.