Widely tunable, highly selective optical filter and receiver elements for WDM systems.

在磷化铟固体研究中，滤光片和探测器的微机械模型、结构、工艺和韦尔登技术都是可行的。Derartige Elemente stellen Schlüsselkomponenten zukünftiger glasfaserbasierender optischer Daten- und Telekomenkationssysteme höchster Übertragungskapazität dar.该系统基于频率复用器（WDM）在两个波长和两个波长的电信传输（1.3 µm和1.55 µm）。Um stabil und mit geringem Gegensprechen der Kanäle（cross-talk）innerhalb des ITU Frequenzrasters operieren zu können ist eine Frequenzabstimmbarkeit der Systemkomponenten von entscheidendem Vorteil.光学元件的动力学特性是微机械的。一架垂直的飞机将被击落。微机械结构的密封基于Opferschichten（“表面微机械加工”）的选择性，并与现代微电子的密封和质量控制相兼容。通过光电和微机械的结合，我们可以实现新的机械化。Daher wird im Rahmen des vorliegenden Forschungsvorhabens eine deutliche Verbesserung der Leistungsfähigkeit und Funktionalität von Filter- und DetektorBauelementen erwartet：* Weite，kontinuierliche Durchstimmung（größer als 40nm）* Optische Halbwertsbreite（`Selektivität`）kleiner als 1nm * Spektrale Positioniergenauigkeit kleiner a

Im Rahmen des Forschungsvorhabens sollen InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare Filter- und Detektor-Bauelemente modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und messtechnisch charakterisiert werden. Derartige Elemente stellen Schlüsselkomponenten zukünftiger glasfaserbasierender optischer Daten- und Telekommunikationssysteme höchster Übertragungskapazität dar. Diese Systeme basieren auf dem Frequenzmultiplexverfahren (WDM) im zweiten und dritten Telekommunikationsfenster (1.3 µm und 1.55 µm). Um stabil und mit geringem Gegensprechen der Kanäle (cross-talk) innerhalb des ITU Frequenzrasters operieren zu können ist eine Frequenzabstimmbarkeit der Systemkomponenten von entscheidendem Vorteil. Die Durchstimmbarkeit der optischen Bauelemente erfolgt mikromechanisch. Eine vertikale Luftspaltkavität wird kapazitiv aktuiert. Die Herstellung der mikromechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten (`Surface micromaching`) und ist kompatibel mit den Herstellungsverfahren der modernen Mikroelektronik und damit der Massenfertigung. Aus der Kombination zwischen optoelektronischen und mikromechanischen Prozessen erwachsen vielfältige neue Möglichkeiten. Daher wird im Rahmen des vorliegenden Forschungsvorhabens eine deutliche Verbesserung der Leistungsfähigkeit und Funktionalität von Filter- und DetektorBauelementen erwartet: * Weite, kontinuierliche Durchstimmung (größer als 40nm) * Optische Halbwertsbreite (`Selektivität`) kleiner als 1nm * Spektrale Positioniergenauigkeit kleiner a