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Preparation and application of crystalline template layers on no crystalline substrates by a quasi-nanoimprinting method

Preparation and application of crystalline template layers on no crystalline substrates by a quasi-nanoimprinting method
准纳米压印法在无晶基底上制备结晶模板层及应用
批准号：
20560003
负责人：
SATO Yuichi
金额：
$3.0万
依托单位：
Akita University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560003/
关键词：
薄膜単結晶非単結晶基板

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
研究了结晶模板层的材料和生长条件。研究了模板层材料与半导体材料的匹配关系。在制备In_2O_3模板层时，将In_2O_3薄膜的热处理气氛由无活性气氛转变为含氧气氛，并控制In_2O_3薄膜的结晶。其他结晶金属薄膜也可以在狭窄的结晶条件下得到。所制备的In_2O_3薄膜可作为多种化合物半导体薄膜的模板层。
英文摘要
Materials and growth conditions for the crystalline template layers were investigated. Matching between materials of the template layers and semiconductors were also investigated. Heat-treatment atmosphere of In thin films was varied from inactive to oxygen included one in preparation of In_2O_3 template layers and their crystallization was controlled by it. Other crystalline metal films could be also obtained in narrow windows of their crystallization conditions. The In_2O_3 films were possible to be applied as template layers for several compound semiconductor films.
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会议论文
In薄膜の熱酸化・再結晶化によるIn_2O_3薄膜の作製
In薄膜热氧化及再结晶制备In_2O_3薄膜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [大竹文人, 羽鳥裕俊, 小坂井啓一, 佐藤祐一]
通讯作者： 佐藤祐一
A Dependence of Crystallinity of In_2O_3 Thin Films by a Two-Step Heat Treatment of Indium Films on the Heating Atmosphere
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发表时间： 2010
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影响因子： --
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DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [小舘達, 荒井学, 佐藤祐一]
通讯作者： 佐藤祐一
共 14 条
    Development of the power generator using of self-excited vibration of a flat plate by a light breeze
    • 批准号：
      26420169
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      SATO Yuichi
    • 依托单位：
      Saitama University
    Exhaustive study for aquisition of eary diagnostic or the anti-cancer drug sensitivity markers for lung cancer
    • 批准号：
      23590414
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.41万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      SATO Yuichi
    • 依托单位：
      Kitasato University
    Study on the prevention of self-excited vibration which are generated in the support of high stack
    • 批准号：
      23560251
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.33万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      SATO Yuichi
    • 依托单位：
      Saitama University
    Extension of discrete-like crack analysis method for RC to hysteresis response analysis
    • 批准号：
      21760430
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      SATO Yuichi
    • 依托单位：
      Kyoto University
    海外基金