Konstruktive Darstellung von dreidimensionalen periodischen Nanostrukturen durch Ionenstrahl-gestützte Abscheidung

[3]一维纳米结构的制备及其新方法，[3]基板旋转的实现。Das Verfahren eignet sich zur Darstellung von Strukturen vielfältiger Geometrien (z.B. Säulen, Spiralen oder Sparren) mit横向尺寸30nm， deren vertikale Abmessungen durch die Schichtdicke最佳估计。[2][1][2][1][3][1][2][1][1]。内孔模具，内孔模具，内孔模具，内孔模具，内孔模具，内孔模具，内孔模具，内孔模具。大北溶胶-溅射沉积技术在安文栋公社的应用。Durch模具的proze参数变化几何，Phasenzusammensetzung和Kristallinität纳米结构的gezielt被注入。Weiterhin sollen regelmäßige Anordnungen von Nanostrukturen auf einem vorstrukturierten substrate hergestellt werden。研究了手性纳米结构的光学特性和力学特性。

Das Wachstum von dreidimensionalen Nanostrukturen kann mit einer neuen Methode, der Deposition unter streifendem Teilcheneinfall bei gleichzeitiger Substratrotation realisiert werden. Das Verfahren eignet sich zur Darstellung von Strukturen vielfältiger Geometrien (z.B. Säulen, Spiralen oder Sparren) mit lateralen Dimensionen 30nm, deren vertikale Abmessungen durch die Schichtdicke bestimmt sind. Es wird erwartet, dass sich diese Strukturen durch neue physikalische Eigenschaften (Elastizität, Brechzahl) auszeichnen. Innerhalb dieses Teilprojektes sollen die Parameterfelder sowie die Mechanismen des Nanostrukturenwachstums erfaßt werden. Dabei soll erstmals die Ionenstrahl-Sputterdeposition zur Anwendung kommen. Durch die Variation der Prozeßparameter sollen Geometrie, Phasenzusammensetzung und Kristallinität der Nanostrukturen gezielt beeinflusst werden. Weiterhin sollen regelmäßige Anordnungen von Nanostrukturen auf einem vorstrukturierten Substrat hergestellt werden. Es sollen die optischen und mechanischen Eigenschaften insbesondere der chiralen Nanostrukturen untersucht werden.