Optische Resonanzen in Mikro- und Nanozylindern mit Bragg-Reflektoren

microskopische resonatoreen Braggmänteln, d.h. konzentrische Bragg-Reflektoren， sollen mittelels等离子体- unterst<s:1>气相沉积（PECVD，等离子体增强化学气相沉积），hergestellt and bezgelich ihrer strukturrellen and optischen Eigenschaften untersucht werden。Dabei konzentrieren siich die PECVD Aktivitäten，测定durch das Anwendungsgebiet，测定Schichten bisher untersuter sowie neumaterialien and deren Einsatz in Übergittern。a scheiben-，锥体- und säulenförmigen微谐振器sololas Verhältnis der Zahl -轴向共振，光学，现代zur Zahl -自发发射，横向，现代Zahl -横向，bragg - refllek - konfinement, <s:1>材料均质器Wandgestaltung erhöht werden。本文研究了微腔内自发辐射的影响因素，并对微腔内自发辐射的影响因素进行了分析。研究了微缩型布拉格反射器的光谱分布，并对紫外光谱进行了优化，研究了复合材料和红外氧化锆（ZnO, Al2O3）的光谱分布。[3][3][3][3][3][3][3][2][3][4][6][4][6]。沉积参数在verindung mitden erzielten optischen Daten ist Gegenstand der tersuchungen中的应用。研究领域：<s:1>设计与设计项目：<s:1>设计与设计系统：<s:1>设计与设计系统：光学设计与设计。Die Techniken der optischen microskopischen反射-光谱- microskopischen反射-光谱-微观-光谱-微观-光谱-微观-微观-光谱-微观-微观-光谱-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观-微观。

Mikroskopische Resonatoren mit Braggmänteln, d.h. konzentrische Bragg-Reflektoren, sollen mittels plasma-unterstützter Gasphasenabscheidung (PECVD, plasma-enhanced chemical vapour deposition) hergestellt und bezüglich ihrer strukturellen und optischen Eigenschaften untersucht werden. Dabei konzentrieren sich die PECVD Aktivitäten, determiniert durch das Anwendungsgebiet, auf die Abscheidung amorpher Schichten bisher untersuchter sowie neuer Materialien und deren Einsatz in Übergittern. An scheiben-, pyramiden- und säulenförmigen Mikroresonatoren soll das Verhältnis der Zahl der axial resonanten optischen Moden zur Zahl der spontan emittierenden lateralen Moden durch ein laterales Bragg-Reflektor-Konfinement gegenüber materialhomogener Wandgestaltung erhöht werden. Anwendungen ergeben sich bei der verbesserten Steuerung des lateralen Lichteinschlusses und damit des Faktors der spontanen Emission in Mikroresonator-Lichtemittern. Der Spektralbereich der miniaturisierten Bragg-Reflektoren soll bis ins nahe UV durch Optimierung der bisher untersuchten Materialkombinationen und Erprobung weiterer Oxide (ZnO, Al2O3) ausgedehnt werden. Dazu erfolgt die Erweiterung der PECVD-Anlage für den Einsatz von metallorganischen Flüssigquellen, wie Trimethylaluminium und Diethylzink. Die Ermittlung der Depositionsparameter in Verbindung mit den erzielten optischen Daten ist Gegenstand der Untersuchungen. Für Arbeiten in anderen Projekten sollen sowohl dielektrische Schichten für Unterlagen und Passivierungsschichten als auch periodische Schichtsysteme für das optische Design hergestellt werden. Die Techniken der optischen mikroskopischen Reflexions-Spektroskopie und der mikroskopischen spektroskopischen Ellipsometrie sollen auf die Untersuchung der Braggmäntel und auf solche Strukturtypen ausgerichtet werden, die Gegenstand anderer Projekte der Forschergruppe sind, um sowohl einen Beitrag zur Darstellungsoptimierung innerhalb dieser Projekte als auch zur Modifizierung der mechanischen und optischen Eigenschaften dieser Strukturen zu leisten.